【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及谐振频率识别和可闭环控制的加速度检测领域，特别涉及一种闭环控 制式加速度计。
技术介绍
随着导航算法及导航计算机的日趋成熟，导航和制导等惯导系统的精度越来越受 到加速度计和陀螺仪性能的制约。石英振梁加速度计是目前较为常用的一种高精度加速度 计，利用振梁受到轴向应力时谐振频率发生变化来检测输入的加速度。目前石英振梁加速度计有双振梁和单振梁两种结构，代表公司分别为美国的 Honeywell和法国的Onera。Honeywell公司采用双振梁结构,且振梁和质量块等其它辅助 结构分开制作，然后通过粘接等方式组装到一起。该种结构量程范围宽，但是制作工艺繁 琐、成本高且成品率较难保证，不适合大批量生产。法国Onera创新性地将石英振梁加速度 计的所有结构制作于单一结构上，且可通过MEMS工艺一体化制作，体积小、成本低且装配 简单，综合精度已达100 ug，单个芯片的直径为6 mm，产品已实现批量化生产并在载体导 航、制导及工业控制领域大量应用。然而，法国Onera的石英振梁加速度计由于采用挠曲型结构，为了获得较高的灵 敏度，传感器只能在较小的量程内保持优良的线...
【技术保护点】
闭环控制式加速度计，其特征在于：包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。
【技术特征摘要】
1.闭环控制式加速度计，其特征在于包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。2.根据权利要求1所述的闭环控制式加速度计，其特征在于所述致动器包括上致动器和下致动器；与所述石英振梁加速度敏感元件的质量块上表面相对的上致动器的表面上设置有上致动电极；与所述上致动器的上致动电极相对应的石英振梁加速度敏感元件的质量块表面上设置有第一致动电极；与所述石英振梁加速度敏感元件的质量块下表面相对的下致动器的表面上设置有下致动电极；与所述下致动器的下致动电极相对应的石英振梁加速度敏感元件的质量块表面上设置有第二致动电极。3.根据权利要求2所述的闭环控制式加速度计，其特征在于所述上致动器和下致动器分别通过设置于外缘的夹持梁与石英振梁加速度敏感元件外缘的固定框接合。4.根据权利要求1所述的闭环控制式加速度计，其特征在于所述石英振梁加速度敏感元件还包括振梁、振梁激励电极、C形连接块、第一挠性桥、第二挠性桥、隔离框、第一连接梁、第二连接梁和致动电极引脚；所述振梁双端固接于质量块和C形连接块；所述振梁激励电极与振梁连接，用于激励振梁使之起振；所述C形连接块用于支撑质量块；所述质量块一侧通过第一挠性桥与C形连接块的一侧连接；所述质量块另一侧通过第二挠性桥与C形连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：林丙涛，赵建华，林日乐，张巧云，董宏奎，翁邦英，徐洲，李文蕴，谢佳维，满欣，周倩，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：
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