【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及氮化镓基发光二极管制造
,尤其涉及。
技术介绍
发光二极管(LED)是一种将电能转化为光能的发光器件,广泛用于指示,显示,装饰,照明等诸多领域,成为我们生活的必不可少的一部分。目前用于商业化的LED所需氮化镓材料主要是在蓝宝石及SiC衬底上进行外延生长.由于材料的失配,在生长的氮化镓中, 位错密度高达1. OX IOltl-L OX 10n/Cm2。这严重影响了器件的发光效率及使用寿命。同时氮化镓和空气较大的折射率差,使得氮化镓与空气之间存在一个23度的全反射角,直接影响了光子的逸出。目前用以改善以上不足的最主要的做法就是采用在图形化衬底上生长氮化镓外延,一方面通过横向生长减少位错密度,提高晶体质量,另一方面通过改变光在氮化镓与蓝宝石界面的反射提高光子逸出几率。常见并且实现量产的有以光刻胶或SiO2或金属作为掩膜,在蓝宝石上通过等离子干法刻蚀或者浓磷酸和硫酸的混合液在高温下腐蚀,以实现在蓝宝石衬底上加工出平台、锥型等图形。如,CN1490844A中采用以SiO2作为掩膜,完成SiO2 图形刻蚀后,再进行外延生长;CN101471404A中所采用的方法为以金属作为掩膜,进行干法刻蚀,得到图形化衬底,再进行外延生长;CN101471401A中采用的则是以SiO2作为掩膜, 经高温坍塌成半球型后,再进行外延生长;而CN1588640A采用的则是湿法化学腐蚀得到蓝宝石衬底,然后再进行外延生长;US2008070413中采用的也是以磷酸和硫酸在高温下腐蚀蓝宝石衬底,得到图形化衬底。通过生产实践证明,采用以上方式都能够破坏氮化镓与蓝宝石界面的全反 ...
【技术保护点】
一种图形化蓝宝石衬底的制备方法,包括如下步骤:1)在蓝宝石衬底上采用等离子化学气相沉积或电子束蒸发的办法积淀介质膜,厚度为介质膜材料为氧化硅、氮氧化硅、氮化硅、氧化铝或氧化钛;2)利用电子束蒸发的方法积淀光学膜;3)通过光刻在光学膜上制备出光刻胶掩膜图形;4)刻蚀光学膜、介质层和蓝宝石衬底,形成周期性图形,蓝宝石衬底的刻蚀深度为5)将刻蚀完成的蓝宝石衬底放入去胶液中,去除表面残余光刻胶;其特征在于,光学膜采用光密介质和光疏介质交替排布,单层厚度为发光波长的四分之一,对数在3?30对;光疏介质为氧化硅、氮氧化硅、氮化硅或氧化镁,光密介质为氧化钛或氧化锆。FSA00000583892000011.tif,FSA00000583892000012.tif
【技术特征摘要】
1.一种图形化蓝宝石衬底的制备方法,包括如下步骤 1)在蓝宝石衬底上采用等离子化学气相沉积或电子束蒸发的办法积淀介质膜,厚度为0-27000A,介质膜材料为氧化硅、氮氧化硅、氮化硅、氧化铝或氧化钛; 2)利用电子束蒸发的方法积淀光学膜; 3)通过光刻在光学膜上制备出光刻胶掩膜图形; 4)刻蚀光学膜、介质层和蓝宝石衬底,形成周期性图形,蓝宝石衬底的刻蚀深度为0-27000A; 5...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖志国,郑远志,武胜利,韩晓翠,闫晓红,刘伟,
申请(专利权)人:大连美明外延片科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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