【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于新型透明导电材料领域，具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ΖηΟ/Al薄膜的方法。
技术介绍
随着社会发展和科学技术的突飞猛进，人类对功能材料的需求日益增加，新型功能材料已成为新技术和新兴工业发展的关键，随着太阳能、平板显示和半导体照明等产业的发展，一种新的功能材料——透明导电材料随之产生、发展起来。太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，只要被光照到，瞬间就可输出电压及电流，传统的太阳能电池的电极制作是通过丝网印刷，导电金属粉浆穿透 光栅减反层，与半导体太阳能电池片形成欧姆接触来形成电极的，所以沉积金属电极是制造太阳能电池中的最后一个环节，也是极为重要的一个环节，因为它直接影响到太阳能电池的转换效率、生产成本以及生命周期。但是，尽管金属电极的导电性能比较好，但是其存在的问题也很多，最大问题就是由于金属电极本身不透明，有很大一部分光被反射不能吸收，在进行光电转换时，其对光的吸收利用率很低，目前工业生产的太阳能电池对光的转换效率一般在14-19%之间，因此，开发新型透明导电材料，替代传统的金属电极，提高太阳能电池的效率成为了最关...
【技术保护点】
一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法，其特征在于按照以下步骤进行：（1）以未引入电极的太阳能电池片为基片，依次用丙酮、乙醇和去离子水超声波清洗基片，用氮气吹干基片，送入磁控溅射反应室；（2）将磁控溅射反应室抽真空至9.0×10?4?Pa后，将基片加热至100℃，并调整氩气流量使气压达到6Pa，以纯Al为靶材进行磁控溅射，控制溅射功率为100?200W，溅射时间1?8min，在基片上得到20?300nm厚的Al薄膜；（3）用去离子水清洗上述溅射有Al薄膜的基片，然后将基片置于气相沉积室内加热到200℃，向气相沉积室内同时通入氧气和携带有Zn(CH2CH3...
【技术特征摘要】
1.一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法，其特征在于按照以下步骤进行 (O以未引入电极的太阳能电池片为基片，依次用丙酮、乙醇和去离子水超声波清洗基片，用氮气吹干基片，送入磁控溅射反应室； (2)将磁控溅射反应室抽真空至9.OX 10_4 Pa后，将基片加热至100°C，并调整氩气流量使气压达到6Pa，以纯Al为靶材进行磁控溅射，控制溅射功率为100-200W，溅射时间l-8min，在基片上得到20-300nm厚的Al薄膜； (3)用去离子水清洗上述溅射有Al薄膜的基片，然后将基片置于气相沉积室内加热到200°...
【专利技术属性】
技术研发人员：张铁岩，鞠振河，张东，赵琰，李昱材，
申请(专利权)人：沈阳工程学院，
类型：发明
国别省市：
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