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一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法技术
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下载一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法的技术资料
文档序号:8535086
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本发明属于新型透明导电材料领域,具体涉及一种在未引入电极的太阳能电池片上制备ZnO/Al薄膜的方法。本发明的方法是以未引入电极的太阳能电池片为基片,清洗后送入磁控溅射反应室,以纯Al为靶材进行磁控溅射得到20-300nm厚的Al薄膜,然后将...
该专利属于沈阳工程学院所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳工程学院授权不得商用。
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