一种太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种太阳能电池的制备方法，该方法包括以下步骤：对金刚线切割的硅片依次进行碱性腐蚀和酸性腐蚀；对腐蚀后的所述硅片进行反应离子刻蚀制绒；在所述硅片正面形成P扩散层，然后去除所述硅片正面的PSG和周边P扩散层；在所述硅片正面形成减反膜；在所述硅片背面形成背电极和铝背场；在所述硅片正面形成正电极。相应的，本发明专利技术还提供一种采用上述方法制备的太阳能电池。本发明专利技术的方法可以有效改善金刚线切割硅片的绒面结构，提高太阳能电池的光电转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能电池
，具体地说涉及一种以金刚线切割硅片为基底的太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
晶体硅太阳能电池在光伏电池中的市场份额保持在90%左右，占据着整个光伏产业的主导，而硅片成本是电池成本的609Γ70%，因此降低硅片制造成本是世界众多光伏研究机构和制造企业研究的热点。从硅锭到硅片需要进行切割，因此降低切割成本具有非常重大的意义。目前市场主要采用游离磨料砂浆多线切割，但是这种技术有如下缺点(1)需要碳化硅砂浆配合切割，成本高；(2)砂浆回收困难，因此容易造成污染；(3)切割时间长，容 易断线等。为了解决采用游离磨料砂浆多线切割带来的问题，出现了金刚线切割技术。该技术不需要采用碳化硅砂浆，硅片产量也能大大提高，是一种有望取代砂浆多线切割的新型硅片切割技术。但这种金刚线切割得到的硅片有明显的切割线痕，如图1所示。切割后硅片特殊的表面形貌不利于硅片湿法制绒，制绒去重量难以提高，表面不容易形成大面积的凹坑结构，导致其反射率远远高于湿法制绒后的常规硅片。参考图2，从图2中可以看出，采用酸溶液制绒后，硅片表面形貌不好，陷光效果差不利于后续太阳能电池的制造。从数据上看，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池的制备方法，其中，包括以下步骤：a）对金刚线切割的硅片进行腐蚀；b）对腐蚀后的所述硅片进行制绒；c）在所述硅片正面形成P扩散层，然后去除所述硅片正面的PSG和周边P扩散层；d）在所述硅片正面形成减反膜；e）在所述硅片背面形成背电极和铝背场；f）在所述硅片正面形成正电极；其特征在于，先采用碱性混合溶液对所述硅片进行腐蚀，腐蚀温度为70℃~90℃，之后再采用酸性混合溶液对所述硅片进行进一步腐蚀，腐蚀温度为5℃~18℃；所述制绒采用反应离子刻蚀制绒。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池的制备方法，其中，包括以下步骤 a)对金刚线切割的硅片进行腐蚀； b)对腐蚀后的所述硅片进行制绒； c)在所述硅片正面形成P扩散层，然后去除所述硅片正面的PSG和周边P扩散层； d)在所述硅片正面形成减反膜； e)在所述硅片背面形成背电极和铝背场； f)在所述硅片正面形成正电极； 其特征在于， 先采用碱性混合溶液对所述硅片进行腐蚀，腐蚀温度为70°C 90°C，之后再采用酸性混合溶液对所述硅片进行进一步腐蚀，腐蚀温度为5°C 18°C ； 所述制绒采用反应离子刻蚀制绒。2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述硅片导电类型为P型，少子寿命大于I μ m,电阻范围为0 5 Ω · cm。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其中， 所述碱性混合溶液为质量浓度在5°/Γ 5%范围内的KOH/NaOH/CH3CH2OH混合溶液，KOH/Na0H/CH3CH20H的质量比为I 5:2 8:1 5 ； 所述硅片在所述碱性混合溶液中的去重比率为29Γ8%。4.根据权利要求3所述的制备方法，其中， 所述酸性混合溶液为HN03/HF/CH3C00H混合溶液，HN03/HF/CH3C00H的体积比为I 10:1 5:1 5 ； 所述順03、HF和CH3COOH的质量浓度分别为68%、40%和98% ； 所述硅片在所述酸性混合溶液中的去重比率为1°/Γ5%。5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述步骤b)还进一步包括 将制绒后的所述硅片置于HF/CH3C00H混合溶液中，并超声处理5mirTl0mi...

【专利技术属性】
技术研发人员：石强，韩玮智，牛新伟，蒋前哨，李永辉，仇展炜，
申请(专利权)人：浙江正泰太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：