一种PERC太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：对抛光后的硅片进行预处理；然后在抛光面上沉积氧化铝钝化层；其中，所述预处理包括如下步骤：电离三甲基铝气体或笑气，将电离形成的离子在电场作用下轰击电池片抛光面，对抛光面进行清洁。本发明专利技术在背面沉积氧化铝钝化膜和SiNx薄膜之前进行了背面预处理步骤，对背表面进行了清洁，去除了脏污，从而提升了氧化铝的钝化作用,得到的PERC太阳能电池的电池效率提升0.2~0.3%。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种PERC太阳能电池的制备方法，属于太阳能电池

技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池，可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。随着科技的发展，出现了局部接触背钝化（PERC）太阳能电池，这是新开发出来的一种高效太阳能电池，得到了业界的广泛关注。其核心是在硅片的背光面用氧化铝或者氧化硅薄膜(5~100纳米)覆盖，以起到钝化表面，提高长波响应的作用，从而提升电池的转换效率。但是，氧化铝或者氧化硅不导电，因此需要对该薄膜局部开口，以便于铝金属与硅片背表面接触，收集电流。另外，铝金属(通常是铝浆)，在高温烧结过程中，会破坏氧化铝或者氧化硅的钝化作用，因此通常要在氧化铝或者氧化硅薄膜上再覆盖氮化硅薄膜，起到保护作用。现有的PERC太阳能电池的制备方法主要包括如下步骤：制绒、扩散、刻蚀并背抛光、背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、沉积氮化硅保护膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结，即可得到太阳能电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对抛光后的硅片进行预处理；然后在抛光面上沉积氧化铝钝化层；其中，所述预处理包括如下步骤：电离三甲基铝气体或笑气，将电离形成的离子在电场作用下轰击电池片抛光面，对抛光面进行清洁。

【技术特征摘要】
1.一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对抛光后的硅片进行预处理；然后在抛光面上沉积氧化铝钝化层；其中，所述预处理包括如下步骤：电离三甲基铝气体或笑气，将电离形成的离子在电场作用下轰击电池片抛光面，对抛光面进行清洁。2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述电离和轰击步骤同步进行。3.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述电离和轰击步骤分步进行。4.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述PERC太阳能电池的制备方法包括制绒、制结、刻蚀并背抛光、预处理、背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、沉积氮化硅保护膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结。5.根据权利要求1所述的PE...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁中存，党继东，俞亚东，张标，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32