【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种碳化硅横向PIN型微型核电池,其特征在于:包括由N型SiC基片构成的衬底(1)和设置在所述衬底(1)上部的N型SiC外延层(2),所述N型SiC外延层(2)上设置有N型SiC欧姆接触掺杂区(3)和P型SiC欧姆接触掺杂区(4),所述N型SiC欧姆接触掺杂区(3)上部设置有形状与所述N型SiC欧姆接触掺杂区(3)形状相同的N型欧姆接触电极(5),所述P型SiC欧姆接触掺杂区(4)上部设置有形状与所述P型SiC欧姆接触掺杂区(4)形状相同的P型欧姆接触电极(6);所述N型SiC欧姆接触掺杂区(3)、P型SiC欧姆接触掺杂区(4)、N型欧姆接触电极(5)和P型欧姆接触电极(6)均为由一条水平指条和多条垂直指条构成的指状结构,所述N型欧姆接触电极(5)的垂直指条与所述P型欧姆接触电极(6)的垂直指条相互交叉设置构成了叉指结构;所述N型SiC外延层(2)上部除去N型欧姆接触电极(5)和P型欧姆接触电极(6)的区域设置有二氧化硅层(7)。
【技术特征摘要】
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