下载碳化硅横向PIN型微型核电池及其制造方法的技术资料

文档序号:8534323

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本发明公开了一种碳化硅横向PIN型微型核电池及其制造方法,其核电池包括衬底和设在衬底上的N型SiC外延层,N型SiC外延层上设有N型SiC欧姆接触掺杂区和P型SiC欧姆接触掺杂区,N型SiC欧姆接触掺杂区上设有N型欧姆接触电极,P型SiC欧...
该专利属于长安大学所有,仅供学习研究参考,未经过长安大学授权不得商用。

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