基于间接式微机械微波功率传感器的相位检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术是一种基于直接式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置及方法，该装置包括可调数字式移相器（12）、功率合成器（16）、直接式微机械微波功率传感器（19）、数字式万用表（20）；其中，参考微波信号Vref接功率合成器的输入端口一（14），待测信号Vx接可调数字式移相器的输入端口（11），可调数字式移相器的输出端口（13）接功率合成器的输入端口二（15），功率合成器的输出端口（17）接直接式微机械微波功率传感器的输入端口（18），直接式微机械微波功率传感器（19）上的背孔（8）接数字式万用表（20）。并利用测量参考信号与经过可调数字式移相器移相后的待测信号这二者合成后的功率的方法，实现精确检测微波信号相位的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提出了基于微电子机械系统(MEMS)技术的微波相位检测装置，属于微电子机械系统的

技术介绍
在微波技术研究中，微波相位是表征微波信号特征的一个重要参数。相位检测装置在天线相位方向图的测试和近场诊断等方面有极其广泛的应用，应用最广泛的微波相位检测器是利用场效应晶体管构成的吉尔伯特乘法器，这种微波相位传感器的缺点在于使用了有源器件，从而带来了不可忽略的噪声和功耗，影响了检测的准确度。自从二十世纪末以来，人们使用RF MEMS技术来实现低噪声和低功耗的微波相位检测系统，本专利技术即为基于此技术的检测装置。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的是提供一种，并利用测量参考信号与经过可调数字式移相器移相后的待测信号这二者合成后的功率的方法，实现精确检测微波信号相位的目的。技术方案本专利技术的基于直接式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置包括可调数字式移相器、功率合成器、直接式微机械微波功率传感器、数字式万用表；其中，参考微波信号Vref接功率合成器的输入端口一，待测信号Vx接可调数字式移相器的输入端口，可调数字式移相器的输出端口接功率合成器的输入端口二，功率合成器的输出端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于直接式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于该装置包括可调数字式移相器（12）、功率合成器（16）、直接式微机械微波功率传感器（19）、数字式万用表（20）；其中，参考微波信号Vref接功率合成器的输入端口一（14），待测信号Vx接可调数字式移相器的输入端口（11），可调数字式移相器的输出端口（13）接功率合成器的输入端口二（15），功率合成器的输出端口（17）接直接式微机械微波功率传感器的输入端口（18），直接式微机械微波功率传感器（19）上的背孔（8）接数字式万用表（20）。

【技术特征摘要】
1.一种基于直接式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于该装置包括可调数字式移相器(12)、功率合成器(16)、直接式微机械微波功率传感器(19)、数字式万用表(20);其中，参考微波信号VMf接功率合成器的输入端口一(14)，待测信号Vx接可调数字式移相器的输入端口(11)，可调数字式移相器的输出端口(13)接功率合成器的输入端口二( 15)，功率合成器的输出端口( 17)接直接式微机械微波功率传感器的输入端口(18)，直接式微机械微波功率传感器(19)上的背孔(8)接数字式万用表(20)。2.一种如权利要求1所述的基于直接式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置，其特征在于 该微波相位检测装置采用测量经过可调数字式移相器移相的待测信号Vx与参考信号Vref合成后的信号功率的方法，实现对微波相位的精确测量，即将待测微波信号经过可调数字式移相器10搬移一定的相位角度后加到功率合成器的输入端口二，将与待测信号频率相同的参考微波信号Vm加到...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，崔焱，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：