【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种针对金属类微小型复杂零件制造的电化学薄片加工ECLM(Electrochemical Lamella Machining)模具和方法，属于微细加工领域。
技术介绍
常用的制作微机械零件的技术主要有三种。第一种是以日本为代表的传统机械加工手段，即利用大机器制造小机器，再利用小机器制造微机械的方法；第二种是以美国为代表的利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅材料进行加工，形成硅基MEMS器件；第三种是以德国为代表的LIGA技术。但是随着微机械系统的多样性和广泛性以及微机械加工的尺寸和材料范围的不断扩大，这些传统的方法已不能完全满足需要，只有多种技术的结合才能满足微机械技术进一步发展的需要。在微细加工技术中，机械微细加工的尺寸和精度受机床精度、刀具尺寸和制造精度诸因素的限制，不可能满足加工更微小尺寸的要求。特种加工具有加工效率高、无残余应力等特点，通过加工能量的直接作用甚至可以实现逐个分子或原子的切除加工。参考现有的各种加工方法，微细电化学加工作为特种加工的一种，没有宏观的切削力，并且加工设备简单、可实施性强，在微结构制作方面显示出了相当大的发展潜力。...
【技术保护点】
一种针对金属类微小型复杂零件制造的电化学薄片加工ＥＣＬＭ（ＥｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌＬａｍｅｌｌａＭａｃｈｉｎｉｎｇ）模具，其特征在于在待加工的金属薄片试件（１０）上制成单面或双面特定图案的绝缘遮蔽层，放入阳极轴（４）之上；金属 薄片的上下各有一个阴极，上阴极（１８）和下阴极（１９），以保证零件的加工精度和效率；通过底板（１）和顶板（１１）的螺栓来调整加工模具的高低，确保加工时处在水平状态；通过上把手（１２）和下把手（２３）来调节加工时的合理间隙。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张之敬，张卫民，金鑫，吴高阳，温楠，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。