【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种。
技术介绍
目前，感光性树脂组合物在半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜和集成电路、印刷线路板的制造工艺中被广泛利用。作为感光性树脂组合物，可以使用耐热性优异、具有卓越的电特性、机械特性等的聚苯并噁唑树脂、聚酰亚胺树脂等。另外，作为感光性树脂组合物，为了简化工艺，也可以使用在这些聚苯并噁唑树脂、聚酰亚胺树脂等中组合有感光剂的重氮醌化合物的组合物(例如参照专利文献I)。另外，可以使用在感光性树脂组合物中添加有表面活性剂的组合物。在该种技术中，通过添加表面活性剂，使感光性树脂组合物的表面张力降低，谋求涂敷性的均匀化。在该技术中，通常的方法为一并添加聚苯并噁唑树脂、作为感光剂的重氮醌化合物和表面活性剂而得到感光性树脂组合物。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开昭56-27140号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在现有的感光性树脂组合物的制造方法中，从生产率的观点出发,通过一并添加聚苯并噁唑树脂、作为感光剂的重氮醌化合物和表面活性剂，得到感光性树脂组合物。但是，本专利技术的专利技术人进行了研究的结果发现，在聚苯并噁唑树脂中直接添加表面活性剂时，感光性树脂组合物中的表面活性剂的分散降低。其结果，判明了在涂敷于晶片上的涂膜中产生缩孔，感光性树脂组合物的涂膜特性降低。用于解决课题的方法本专利技术包括以下专利技术。[I]一种感光性树脂组合物的制造方法，上述感光性树脂组合物至少含有(A)碱可溶性树脂、(B)光氧发生剂、(C)表面活性剂和(D)有机溶剂，上述制造方法包括得到含有上述(C)表面活性剂和上述(D)有机溶剂、且不含有上述(A)碱可溶性树...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.03 JP 2010-1273791.一种感光性树脂组合物的制造方法，所述感光性树脂组合物至少含有(A)碱可溶性树脂、(B)光氧发生剂、(C)表面活性剂和(D)有机溶剂，所述制造方法包括得到含有所述(C)表面活性剂和所述(D)有机溶剂、且不含有所述(A)碱可溶性树脂和所述(B)光氧发生剂的分散液的工序；和在所述分散液中添加所述(A)碱可溶性树脂和所述(B)光氧发生剂的工序。2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述表面活性剂的分散液中的所述(C)表面活性剂的浓度为临界胶束浓度以下。3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物的制造方法，其特征在于在得到所述分散液的所述工序中，所述分散液中的直径为O. 15μπι以上的粒子数为 500个/mL以下。4.如权利要求1 3中任一项所述的感光性树脂组合物的制造方法，其特征在于 在得到所述分散液的所述工序中，相对于所述(D...
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