描画装置以及描画方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种描画装置以及描画方法。在数据变换部（811）中，对表示各图案的整体的矢量数据进行光栅变换来生成描画光栅数据，并且在生成描画光栅数据时，生成表示该图案中的图案识别用的特征区域的光栅数据即部分光栅数据。将包括描画光栅数据以及部分光栅数据的集合作为描画数据集（51），在存储部（821）中存储有分别与多个图案相对应的多个描画数据集（51）。显示控制部（601），基于包括在多个图案中的被选择的图案的描画光栅数据所属的描画数据集（51）中的部分光栅数据，在显示器（602）上迅速并容易地显示表示该图案的特征区域的图像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于描画图案的。
技术介绍
以往,对通过CAD (Computer aided design :计算机辅助设计)制作的图案的矢量数据进行光栅变换来生成描画光栅数据，在描画部根据描画光栅数据在基板上的感光材料上描画该图案。另外，由于图案的描画以及显影需要一定程度的时间，因此在描画图案之前，还按照需要确认所选择的描画光栅数据是否表示希望的图案。此外，日本特开2006-330184号公报公开了实现目视检查描画用光栅数据的的省力化的方法。在该方法中，在通过RIP (Raster image processor :光栅图像处理器)处理将表示向基板直接描画的布线图案的矢量形式的工作数据(Garber data)解压为描画用光栅数据之前，若指定任意详细显示范围，则仅与网板数据中的被指定的详细显示范围相当的数据解压为高分辨率的光栅数据，在光栅显示画面内显示表示详细显示范围内的布线图案的详细显示图像。另外，日本特开08-153572号公报中公开了如下的方法，即，选取形成在被检查物的表面上的定位标记的图像数据，根据从该图像数据提取的特征点以及预先登记的定位标记的特征点计算相关值，并基于相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种描画装置，用于描画图案，其特征在于，具有：数据变换部，对表示各图案的整体的矢量数据进行光栅变换来生成描画光栅数据，并且在生成上述描画光栅数据时，生成上述各图案的图案识别用的特征区域的位置数据，或者生成表示上述特征区域的数据即部分数据，存储部，将包括上述描画光栅数据和上述位置数据的集合，或者将包括上述描画光栅数据和上述部分数据的集合作为描画数据集，存储分别与多个图案对应的多个描画数据集，显示控制部，基于在表示上述多个图案中的被选择的图案的描画光栅数据所属的描画数据集中包括的位置数据或者部分数据，在显示部上显示用于表示被选择的上述图案的特征区域的图像，描画部，根据描画光栅数据，在对象物上描画图...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吉和隆夫，本庄由宜，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：