一种大型变壁厚纯钼坩埚的成型方法技术

本发明专利技术公开了一种大型变壁厚纯钼坩埚的成型方法，该方法采用真空熔炼法制作纯钼铸锭，再将铸锭热轧成板坯，经旋压设备对板坯进行旋压，最后对旋压得到的半成品件做表面处理，得到符合要求的产品。根据本发明专利技术的方法制作的钼坩埚能够达到尺寸要求和表面及冶金要求，所制造额钼坩埚质量好，生产周期短，重量轻，运输方便，满足了生产大尺寸蓝宝石的需要，填补了国内对制造此型钼坩埚的技术空白，具有巨大的市场价值和潜在经济价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于旋压成型
，涉及一种成型方法，尤其是一种大型变壁厚纯钥坩埚的成型方法。
技术介绍
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、机械性能和化学稳定性。强度高、硬度大、耐冲刷，因而广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能是蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/A1203 发光二极管(LED)，大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最理想的衬底材料。 因此，低成本、高质量地生产大尺寸蓝宝石单晶已成为当前面临的迫切任务。目前我国LED 照明材料所需材料依赖进口，国防工业所需的大尺寸蓝宝石晶体供应也受到很大制约，严重制约我国半导 体照明行业及国防工业的发展。由于钥的熔点高达2610°C，因此钥坩埚广泛倍被应用于蓝宝石单晶生长炉、石英玻璃熔炼炉、稀土冶炼炉等工业炉等核心容器，其使用的工作环境一般在2000°C以上，特别对于蓝宝石单晶生长炉来说，具有高纯度、高密度、无内裂纹、尺寸精准、内外壁光洁等特征的钥坩埚对蓝宝石晶体生长过程中的种晶成功率、拉晶质量控制、脱晶粘锅以及使用寿命起到了关键的作用。根据坩埚制造工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大型变壁厚纯钼坩埚的成型方法，其特征在于，包括以下步骤：1）采用真空熔炼法制作纯钼铸锭；2）将上述纯钼铸锭热轧成板坯（1）；3）将板坯（1）置于煤气炉中进行900℃，60min的消除应力退火，然后碱洗及清理表面；钼板不应有裂纹、起皮、分层、凹坑缺陷；4）用旋压设备对板坯（1）进行旋压，得到半成品件；5）对旋压得到的半成品件做表面处理，得到符合要求的产品。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张利军，常辉，朱鹏超，薛祥义，
申请(专利权)人：西安西工大超晶科技发展有限责任公司，
类型：发明
国别省市：