一种多晶硅料干燥系统技术方案

技术编号:8471755 阅读:148 留言:0更新日期:2013-03-24 15:35
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅料干燥系统,包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。本实用新型专利技术利用鼓风机及其散热来加热空气,再从各个方向与硅片进行充分接触,从而达到安全、高效、低成本地烘干硅片的目的。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

—种多晶硅料干燥系统
本技术涉及一种烘干系统,尤其涉及应用于硅料类材料清洗后需要避免二次污染的干燥系统。
技术介绍
现有的硅料烘干技术对有高洁静度要求的硅料类材料进行清洗后,要求表面不能附着有水,以免对后续工序造成不良影响。而现有的烘干系统大多采用电加热器预加热空气,再用普通鼓风机吹送的方法,烘干设定温度一般为80C°左右。然而,在实际使用时,存在因局部过热而损坏空气过滤器的问题,甚至有进而发生火灾的风险。如何提供一种使用安全的硅料干燥系统是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有硅料烘干系统的安全性欠佳的技术问题,提出一种安全、高效和低成本的多晶硅料干燥系统。本技术提出的多晶硅料干燥系统,包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。优选的,烘干处理槽包括设于槽体上方的自动盖、槽体外壁包裹的保温棉,设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管,该吹气管与所述的第三管道连通,烘干处理槽的出风口处连接有抽风管。优选的,抽风管由内衬钢丝网的PVC材料制作,该抽风管道上还设有调风阀。优选的,烘干处理槽内的清洗篮,该清洗篮的四周设有多个透风口、且底部设有隔杆。优选的,鼓风机连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。优选的,鼓风机为高压涡流鼓风机。本技术使用时,不仅利用高压涡流鼓风机来产生流动的热空气,还利用了高压涡流鼓风机工作时产生的余热来加热空气,进一步提高了效率,节省了成本,然后再利用烘干处理槽上的各个方向的吹气孔,让硅片各个方向都能够接触热空气,清洗篮上多个透气孔更加促进了热空气的流通,从而达到快速、安全地烘干硅片的目的。附图说明图I为本技术较佳实施例的结构示意图;图2为本技术较佳实施例的烘干处理槽的横截面示意图;图3为本技术较佳实施例的烘干处理槽的纵截面示意图。具体实施方式如图1所示,本技术较佳实施例提供的一种多晶硅料干燥系统,包括鼓风机 1、通过第一管道2与该鼓风机的进风口连接的一级(初效)过滤装置3、该鼓风机的出风口通过第二管道4与二级(高效)过滤装置5的进风口连接、该二级(高效)过滤装置5的出风口通过第三管道6与烘干处理槽7的进风口连接。如图2所示,烘干处理槽7包括设于槽体上方的自动盖8、槽体外壁包裹的保温棉9,设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管10,该吹气管与图I中所示的第三管道6连通。 烘干处理槽7内的清洗篮13的四周设有多个透风口 14、且底部设有隔杆15。如图3所示,烘干处理槽7的出风口处连接有抽风管11。抽风管11由内衬钢丝网的PVC材料制作,该抽风管道上还设有调风阀12。鼓风机的数量可以根据需要来设置,本实施例,鼓风机1为一套高压涡流风机,并且连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。本技术使用时,外界大气通过一级(初效)过滤装置3进行初步过滤后,进入高压涡流鼓风机1内,高压涡流鼓风机1工作时,气体从进气口被吸入,当进入侧通道(图中未标出)后旋转叶轮在旋转方向上给气体一个速度,同时叶片上的离心力使气体向外加速增加了压力,而随着旋转的进行,气体动能增加,使得沿侧通道的气体压力进一步增加。由于侧通道的出气口变窄,气体被挤出出口时增温,变成一股快速的热空气,再利用高压涡流鼓风机1工作时产生的余热,送入进风口产生二次进风,使得流动的空气温度达到约60°C,这种方法不仅安全,而且最大限度地利用了涡流鼓风机产生的热能,提高了转化效率。热空气再经过二级(高效)过滤装置5进一步过滤,去除金属粉尘以及其他杂质后,进入烘干处理槽7内,烘干处理槽7内各个方向上都设有吹气孔10,热空气流经吹气孔 10,从多个方向与硅片进行接触,为了进一步方便硅料烘干,清洗篮13四周留有许多透风口 14,并在底部设有隔杆15,以便保证清洗篮13内空气流畅,提高硅料干燥效率,从而降低成本。此外连接于烘干处理槽7出风口处的抽风管11由内衬钢丝网的PVC材料制作,可以有效地耐温及耐压,该抽风管道上还设有调风阀12,从而使空气不淤积在烘干处理槽7内, 避免影响风机的正常运作。以上具体实施例仅用以举例说明本技术的结构,本领域的普通技术人员在本技术的构思下可以做出多种变形和变化,这些变形和变化均包括在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅料干燥系统,其特征在于,包括鼓风机(1)、通过第一管道(2)与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置(3)、该鼓风机的出风口通过第二管道(4)与二级过滤装置(5)的进风口连接、该二级过滤装置(5)的出风口通过第三管道(6)与烘干处理槽(7)的进风口连接。

【技术特征摘要】
1.一种多晶娃料干燥系统,其特征在于,包括鼓风机(I)、通过第一管道(2)与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置(3)、该鼓风机的出风口通过第二管道(4)与二级过滤装置(5 )的进风口连接、该二级过滤装置(5 )的出风口通过第三管道(6 )与烘干处理槽(7 )的进风口连接。2.如权利要求I所述的多晶硅料干燥系统,其特征在于,所述的烘干处理槽(7)包括设于槽体上方的自动盖(8)、槽体外壁包裹的保温棉(9),设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管(10),该吹气管与所述的第三管道(6)连通;所述烘干处理槽(7)的出风口处连接...

【专利技术属性】
技术研发人员:左国军
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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