【技术实现步骤摘要】
—种多晶硅料干燥系统
本技术涉及一种烘干系统,尤其涉及应用于硅料类材料清洗后需要避免二次污染的干燥系统。
技术介绍
现有的硅料烘干技术对有高洁静度要求的硅料类材料进行清洗后,要求表面不能附着有水,以免对后续工序造成不良影响。而现有的烘干系统大多采用电加热器预加热空气,再用普通鼓风机吹送的方法,烘干设定温度一般为80C°左右。然而,在实际使用时,存在因局部过热而损坏空气过滤器的问题,甚至有进而发生火灾的风险。如何提供一种使用安全的硅料干燥系统是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有硅料烘干系统的安全性欠佳的技术问题,提出一种安全、高效和低成本的多晶硅料干燥系统。本技术提出的多晶硅料干燥系统,包括鼓风机、通过第一管道与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置、该鼓风机的出风口通过第二管道与二级过滤装置的进风口连接、该二级过滤装置的出风口通过第三管道与烘干处理槽的进风口连接。优选的,烘干处理槽包括设于槽体上方的自动盖、槽体外壁包裹的保温棉,设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管,该吹气管与所述的第三管道连通,烘干处理槽的出风口处连接有抽风管。优选的,抽风管由内衬钢丝网的PVC材料制作,该抽风管道上还设有调风阀。优选的,烘干处理槽内的清洗篮,该清洗篮的四周设有多个透风口、且底部设有隔杆。优选的,鼓风机连接有电机保护器、过滤保护器和相序保护器。优选的,鼓风机为高压涡流鼓风机。本技术使用时,不仅利用高压涡流鼓风机来产生流动的热空气,还利用了高压涡流鼓风机工作时产生的余热来加热空气,进一步提高了效率,节省了成本,然后再利用烘干处理槽上的各个方向的吹气孔,让硅 ...
【技术保护点】
一种多晶硅料干燥系统,其特征在于,包括鼓风机(1)、通过第一管道(2)与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置(3)、该鼓风机的出风口通过第二管道(4)与二级过滤装置(5)的进风口连接、该二级过滤装置(5)的出风口通过第三管道(6)与烘干处理槽(7)的进风口连接。
【技术特征摘要】
1.一种多晶娃料干燥系统,其特征在于,包括鼓风机(I)、通过第一管道(2)与该鼓风机的进风口连接的一级过滤装置(3)、该鼓风机的出风口通过第二管道(4)与二级过滤装置(5 )的进风口连接、该二级过滤装置(5 )的出风口通过第三管道(6 )与烘干处理槽(7 )的进风口连接。2.如权利要求I所述的多晶硅料干燥系统,其特征在于,所述的烘干处理槽(7)包括设于槽体上方的自动盖(8)、槽体外壁包裹的保温棉(9),设于槽体内腔壁上多个方位的吹气管(10),该吹气管与所述的第三管道(6)连通;所述烘干处理槽(7)的出风口处连接...
【专利技术属性】
技术研发人员:左国军,
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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