一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板制造技术

本实用新型专利技术目的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接；其中，所述的加热板设置为阶梯形状，不同加热源对应不同辐射热距离，可藉由调整个别的加热功率达到衬底上温度梯度的调整，使衬底中间区域与边缘区域的温度均匀，本实用新型专利技术所提供的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，尤其适用于在大尺寸的衬底上沉积薄膜，在加热过程中提供衬底极好的温度均匀性，使得沉积的薄膜因此具有良好的均匀性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，特别涉及一种用于物理气相沉积溅射设备衬底加热。
技术介绍
物理气相沉积设备(PVD)是制造薄膜太阳能电池的一种关键设备。请参阅图1，为现有技术的PVD设备的剖面示意图。该PVD设备包括一腔体11，设置于腔体11内的磁控阴极靶极12，和面对磁控阴极靶极12设置的加热板15。溅射薄膜时，衬底14被传送装置13传送经过加热装置15及磁控阴极靶极12，加热板15将衬底14加热到一定的温度，并保持衬底14的温度。溅射靶极将靶材原子溅射出后，向对面设置的衬底14飞溅，在其表面完成一层薄膜的沉积。在薄膜溅射沉积过程中，衬底14上温度的均匀性将直接影响沉积薄膜的均匀性。随着异质结太阳能电池技术的不断进步和发展，衬底14的尺寸也越来越大。然而现有技术中，采用分区热阻丝方式加热，由于辐射热能散发距离无法有效保持一定，因此在加热过程中会温度不均匀得现象，且由于在衬底14的外缘区域散热速度较其中间区域快，因此在加热过程中会引起衬底14的中间区域与边缘区域的温度不均匀进而直接影响在衬底14上所沉积的薄膜的均匀性。
技术实现思路
本技术主要目的系提供一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，来解决现有技术中存在的加热过程中会弓I起衬底的中间区域与边缘区域的温度不均匀的问题。为了达成上述技术目的，本技术的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接。所述的三区加热源均为热阻丝。所述的电源控制器分别与每个第一加热源以及、第二加热源及第三加热源连接。进一步的，本技术加热源均设置加热板不同阶梯的表面，其中第二表面距离第一表面最近；第三表面距离第一表面次之；第四表面距离第一表面最远，相对于衬底而言第二表面设置第一加热源加热衬底外围；第三表面设置第二加热源加热衬底内圈；第四表面设置第三加热源加热衬底最内圈。与现有技术相比，本技术具有如下优点本技术将加热板设置为阶梯形状，不同加热源对应不同辐射热距离，可藉由调整个别的加热功率达到衬底上温度梯度的调整，使衬底中间区域与边缘区域的温度均匀。进一步的，本技术在采用所述电源控制器分别独立控制设置在中央、内圈及边缘加热区域内的第一、第二及第三加热源，以进行不同程度的加热，进一步确保了衬底各个区域加热的均匀性。本技术所提供的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，尤其适用于在大尺寸的衬底上沉积薄膜，在加热过程中提供衬底极好的温度均匀性，使得沉积的薄膜因此具有良好的均匀性。附图说明图I系为本技术PVD剖面结构示意图。图2系为本技术加热板剖面结构示意图。主要组件符号说明。11.. 腔体。12...磁控阴极祀极。13...传送装置。14.. 衬底。15...加热板。20...第四表面。21...加热板外盖。22...加热上板。23...第一加热源。24...第二加热源。25.. 第二加热源。26...电源控制器。27...第一表面。28...第二表面。29.. 第二表面。具体实施方式为使方简捷了解本专利技术之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够为显现，以下结合图I图2，详细说明本技术的具体实施方式，详细明如下请阅图1，是本技术的PVD设备的剖面示意图。其包含设置于腔体11内的磁控阴极祀极12,和面对磁控阴极祀极12设置的加热板15。衬底14被传送装置13传送至腔体11，该加热板15将衬底14加热到一定温度，并保持衬底14的温度。磁控阴极靶12产生顶离子体轰击靶原子后，将靶材料沉积在被加热的衬底14表面上，该薄膜通常为氧化铟锡(ITO)层。请参阅图2所示,其显示了所述的加热板15的剖面结构示意图。该加热板15包含一阶梯状加热上板22，加热板外盖21，若干加热源和电源控制器26。其中，该加热上板22以阶梯形状形成三个表面，具体包含第二表面28、第三表面29、第四表面20。所述的加热源包含第一加热源23、第二加热源24及第三加热源25，其分别一一对应嵌设在上述阶梯表面中。在本实施例中，所述的第一加热源23、第二加热源24和第三加热源25均为热阻丝。所述加热上板22的材料为金属材料，以使得被加热的第一加热源23、第二加热源24和第三加热源25的热量能传导给所述加热上板22。具体地，在本实施例中所述加热上板22的材料可采用合金铝材，所述第一加热源23、第二加热源24和第三加热源25通常被加热到300-350摄氏度。所述的电源控制器26分别与第一加热源23、第二加热源24和第三加热源25连接，其分别独立控制位于加热上板的外圈、内圈及最内圈，从而使得位于不同区域的加热源具有不同的加热程度。一般由于外部边缘区域的散热速度较中间区域快，因此会控制第三加热源25相较于第一加热源23及第二加热源24有更强的加热程度，有效补偿加热上板21外部边缘区域与中央区域在加热过程中的温度不均匀，进而保证整个衬底14表面不同区域的温度均匀性。进一步，本技术的加热上板22具有不同高度的阶梯表面，该阶梯表面分别一一对应不同的加热源，藉由电源控制器26分别独立控制不同的加热源且因为阶梯表面的不同高度，在成不同程度的温度梯度呈现在加热上板22的第一表面27，间接以不同程度的辐射热源加热衬底14，使衬底中间区域与边缘区域的温度均匀。综上所述，本技术在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合技术之申请要件，惟上详细明系针对本技术之一可实施之具体明，该实施并非用以限制本技术之专范围，而凡未脱本技术技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。权利要求1.一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接。2.根据权利要求I所述之一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，其中该加热板包含一加热上板及加热外盖。3.根据权利要求2所述之一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，其特征在于，所述的加热上板设置为阶梯形状，分别为第一表面、第二表面、第三表面和第四表面该第二表面距离第一表面IOmm ;该第三表面距离第一表面20mm ;该第三表面距离第一表面30mmo4.根据权利要求I所述之一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，其特征在于，所述的加热源包含第一加热源、第二加热源和第三加热源该第一加热源崁设在第二表面中； 该第二加热源崁设在第三表面中；该第三加热源崁设在第四表面中。专利摘要本技术目的一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接；其中，所述的加热板设置为阶梯形状，不同加热源对应不同辐射热距离，可藉由调整个别的加热功率达到衬底上温度梯度的调整，使衬底中间区域与边缘区域的温度均匀，本技术所提供的一种用于异本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于异质结太阳能电池衬底的加热板，包括一加热板，该加热板以阶梯形状被分隔形成三个加热区域；加热源，其被嵌设在?三个加热区域中；加热板下方设置一外盖与加热板紧密锁固，电源控制器，其与加热源耦合连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：