一种声表面波滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种低损耗滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其中所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为3.5～5.5％，Nb的原子百分数为2.5～6.0％，Mn的原子百分数为2.0～4.5％。其机电耦合系数高，插入损耗低，工作效率高，是一种可以大量工业化使用的高频滤波器。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种声表面波滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其特征在于，所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为0.5～3.5％，Nb的原子百分数为2.5～6.0％，Mn的原子百分数为2.0～4.5％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梅欣，张俊，
申请(专利权)人：溧阳市生产力促进中心，
类型：发明
国别省市：