声波滤波器制造技术

本发明专利技术提供了一种声波滤波器。一种包括多个压电薄膜谐振器的声波滤波器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；隔着至少一部分所述压电膜设置的下电极和上电极；用于频率控制的质量负荷膜，其位于下电极与上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，其弹性常数的温度系数具有与压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在谐振区中位于下电极与上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的一些方面涉及一种声波滤波器。
技术介绍
已知一种使用体声波(Bulk Acoustic Wave :BAW)的BAW滤波器,作为无线设备(诸如移动电话)用滤波器。BAW滤波器由压电薄膜谐振器组成，并且各压电薄膜谐振器具有上电极与下电极隔着压电膜彼此面对的结构。压电薄膜谐振器的谐振频率由上电极与下电极彼此面对的区域(此后称为谐振区)的构成材料和膜厚决定。为了使得压电薄膜谐振器的谐振频率具有不同值，已知一种用于在谐振区中形成质量负荷膜(mass load film)的技术，例如在日本特开第2002-335141号公报、日本特表 (PCT申请的翻译)第2002-515667号公报以及日本特表第2007-535279号公报中所公开的。通过改变质量负荷膜的图案或者厚度，可以任意地改变谐振频率。此外，为了抑制温度变化所引起的频率偏移，已知在谐振区中形成温度补偿膜的技术，如例如在日本特开昭58-137317号公报中所公开的。温度补偿膜形成在压电膜之间，并且其谐振频率的温度系数的符号与压电膜的谐振频率的温度系数的符号相反。在压电薄膜谐振器中使用温度补偿膜的声波滤波器中，频率的温度系数T本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声波滤波器，该声波滤波器包括多个压电薄膜谐振器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；下电极和上电极，该下电极和该上电极隔着至少一部分所述压电膜设置；用于频率控制的质量负荷膜，该质量负荷膜位于所述下电极与所述上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与所述谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，该温度补偿膜的弹性常数的温度系数具有与所述压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在所述谐振区中位于所述下电极与所述上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：西原时弘，谷口真司，上田政则，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：