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文档序号:8302180
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本发明提供了一种声波滤波器。一种包括多个压电薄膜谐振器的声波滤波器,其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括:基板;位于所述基板上的压电膜;隔着至少一部分所述压电膜设置的下电极和上电极;用于频率控制的质量负荷膜,其位于下电极与上电极彼此面对的谐振...
该专利属于太阳诱电株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过太阳诱电株式会社授权不得商用。
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