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本发明公开了一种低损耗滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其中所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为3.5～5.5％，Nb的原子百分数为2....
该专利属于溧阳市生产力促进中心所有，仅供学习研究参考，未经过溧阳市生产力促进中心授权不得商用。

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