一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管技术

本发明专利技术公开了一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管，其中，铝栅极，包括铝栅极本体和覆盖在所述铝栅极本体的外表面和侧壁上的盖层，盖层由热涨系数小于20的金属制备而成。由于金属盖层选择热涨系数小于20的金属，在高温时，不容易发生膨胀，当铝栅极本体发生膨胀时，产生的压缩应力被金属盖层吸收，能够防止铝栅极本体表面或者表面和侧壁发生小丘和腐蚀现象，防止栅极与源极、漏极及其引线短路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种铝栅极及其制备方法和包括该铝栅极的薄膜晶体管。
技术介绍
平板显示屏(Flat Panel Display,缩写为FPD)电路中信号传递的快慢，取决于电阻(R)(主要是指应用在平板显示屏中的应用的薄膜晶体管的栅极电阻)与电容(C)的乘积，RC乘积越大，速度就越慢，反之，RC乘积越小，信号传输速度就越快。随着显示屏尺寸的增大，栅极导线会更长，栅极导线的变长使栅极导线的电阻增大，进而增加RC电路延迟时间；同样的，随着显示屏分辨率的提高，栅极导线变的更细，更细的栅极导线同样使栅极导线的电阻增大，进而增加RC电路延迟时间。因此，为了缩短响应时间，即减小RC电路延迟时间，必须在薄膜晶体管中采用低电阻率的金属作为栅极材料。而铝的电阻率较低，约为 2.8μ Ω · cm，只比金、银、铜略高，但成本低很多，是一种比较理想的栅极材料。如前所述， 目前显示屏的尺寸不断增大并且对分辨率的要求越来越高，所以其中应用的薄膜晶体管的数量不断增加，为了保证分辨率达到要求，薄膜晶体管本身的体积就需要更小。典型的薄膜晶体管分为底栅型薄膜晶体管和顶栅型薄膜晶体管。底栅型薄本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝栅极，包括：铝栅极本体，形成于基板上；第一盖层（1），设置于所述铝栅极本体上与所述基板相对位置的上表面上；其特征在于：还包括包覆于所述铝栅极本体四周的第二盖层（7），且所述第二盖层（7）与所述第一盖层（1）之间无缝相接；所述第一盖层（1）和所述第二盖层（7）由热涨系数小于20的金属制备而成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡世星，邱勇，黄秀颀，平山秀雄，李建文，习王峰，郭瑞，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：发明
国别省市：