内匹配的高频大功率晶体管制造技术

技术编号:8442168 阅读:379 留言:0更新日期:2013-03-18 18:12
本实用新型专利技术公开了一种内匹配的高频大功率晶体管,包括晶体管(14)、输入匹配网络、输出匹配网络和稳定网络;其特征在于,所述稳定网络由电阻(3)、电容(6)、第一电感(7)和第二电感(8)串联构成,其两端分别与所述晶体管(14)的栅极(9)和漏极(10)相连。本实用新型专利技术的优点在于提高了高频大功率晶体管的稳定性:通过串联在器件的栅极与漏极间稳定网络,提高了功率管输入输出之间的隔离度,从而改善高频大功率晶体管的稳定性;改善了高频大功率晶体管输入阻抗的Q值,为宽带匹配网络的设计提供了便利;无需额外增加封装管壳的尺寸,提高了管壳空间利用率,给宽带输入输出内匹配网络的设计提供了较大的自由度。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及功率器件领域,尤其涉及一种内匹配的高频大功率晶体管。技术背景 大尺寸微波功率晶体管由于工作频率高、管芯的输入输出阻抗较低,寄生效应影响严重,使得阻抗匹配网络的设计越来越困难,若直接将管芯装入管壳封装,加上管壳分布参数的影响,使得它与特性阻抗为50ohm的微波系统匹配更加困难,大大限制了晶体管的功率输出和工作带宽。因此对微波功率管发展了一种内匹配技术,即在封装管壳内部采用MIM电容(金属-绝缘体-金属电容)和键合线构成阻抗匹配电路,直接与晶体管管芯相连,减少寄生参量的影响。另一方面,在大尺寸微波功率晶体管的研制中,随着功率器件尺寸的不断增大,功率器件出现增益高、相位不一致性高、寄生效应严重等问题,很可能导致各种振荡,从而直接影响到高频功率器件的正常工作,甚至导致其烧毁。为了提高功率晶体管的稳定性,通常在晶体管栅极端口串联RC网络,该网络可以很好的改善晶体管的稳定性,但是它极大的限制了晶体管输入匹配网络的带宽,而且有时非常不便于装配;如果将RC网络加载在射频信号输入端口,装配简单易行,而且对晶体管的输入阻抗影响较小,但是这种连接方式并不能改善很多高增益微波功率晶体管的稳定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种内匹配的高频大功率晶体管,包括晶体管(14)、输入匹配网络、输出匹配网络和稳定网络;其特征在于,所述稳定网络由电阻(3)、电容(6)、第一电感(7)和第二电感(8)串联构成,所述稳定网络两端分别与所述晶体管(14)的栅极(9)和漏极(10)相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:戈勤郑英奎彭铭曾刘新宇
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1