同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置。一种同轴电缆接头，包括接头本体、第一绝缘件、第二绝缘件、导体插件、导体接头、接地导电板以及标准压接件，同轴电缆中的内导体整体嵌入导体插件内部并与其连接，导体接头上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件；接地导电板紧靠接头本体设置，环绕第一绝缘件并接地；标准压接件设置于接头本体下端部，用于使接头本体和同轴电缆外导体连接；接头本体上表面临近接地导电板处设有一凹槽，该凹槽内设有一接地垫圈，其高度超出凹槽的深度，该接地垫圈分别与接头本体和接地导电板电连接。本实用新型专利技术可以保证同轴电缆接头接地良好，实现了对通过同轴电缆的高频信号更好的屏蔽效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种接头，更具体地说，涉及一种同轴电缆接头。
技术介绍
在高压 电源向电极的传输过程中，一般采用普通的高压线，这种电线只耐高压而不能屏蔽高频信号，从而导致经它传输的高频信号向外辐射，且周围环境的信号也会对高频信号造成影响。另外，对高频信号来说，分布参数会影响高频信号的传输特性，而布线的形状、与周边接触的情况都会改变它的分布参数，故以普通的高压线作为高压信号传输介质存在诸多的弊端。同轴电缆作为一种信号传输介质，其一般具有一根铜质内导体，以及多跟围绕内导体分布的外导体，两者之间以绝缘的管套加以分隔。同轴电缆的内导体作为传输信号的部分，周围导线用来防止电磁能量的辐射并具有接地的功能。所以，采用同轴电缆作为将直流高压电源连接到射频电极的传输介质，具有较好的耐高压及屏蔽高频信号的效果。但只有同轴电缆线本身的屏蔽并不能实现对高频信号的屏蔽，对同轴电缆两端接头也实现接地则会获得对其中传输的高频信号更好的屏蔽效果。在现有技术中，同轴电缆射频电极端接头包括接头本体、接地导电板和其他组件等，接头本体和接地导电板之间电连接，从而实现接头本体的接地以获得对高频信号更好的屏蔽效果。但由于接头本体和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同轴电缆接头，用于将直流高压电源通过同轴电缆(200)连接到射频电极，包括接头本体(101)、第一绝缘件(102)、第二绝缘件(103)、导体插件(104)、导体接头(105)、接地导电板(106)以及标准压接件(107)，所述同轴电缆(200)中的内导体(201)整体嵌入导体插件(104)内部并与其连接，所述导体接头(105)上端部连接射频电极，其下端部包覆导体插件(104)；所述导体插件(104)包括从上向下垂直分布的第一、第二和第三插件部(1041、1042、1043)，所述第一插件部(1041)嵌入导体接头(105)下部，所述第二插件部(1042)上下承接第一插件部(1041)和第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈妙娟，虞龙斌，徐蕾，张亦涛，倪图强，
申请(专利权)人：中微半导体设备上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：