温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种同轴电缆接头、组合结构及等离子体处理装置。一种同轴电缆接头，包括接头本体、第一绝缘件、第二绝缘件、导体插件、导体接头、接地导电板以及标准压接件，同轴电缆中的内导体整体嵌入导体插件内部并与其连接，导体接头上端部连接射频电极，...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。