一种太阳能电池扩散用盛源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池扩散用盛源装置，它包括圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，源瓶的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄，源瓶的内底部为阶梯形圆环结构，阶梯形圆环结构由源瓶的瓶壁向中间逐渐收缩，送气管的上端位于源瓶上端面的中部，下端位于接近最底层圆环结构的底面处。本实用新型专利技术通过设置直径逐渐减小的阶梯型环形结构，送气管路延伸到瓶子的底部可以更好的吸收从高处向地处集中起来的源，减少源的浪费并且避免因为液面不足造成方块电阻的不稳定，从而提高转换效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种太阳能电池扩散用盛源装置。
技术介绍
太阳能电池生产中工序有制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝印，其中扩散工序中主要用的气体是三氯氧磷，简称源，扩散热处理是在有计划的通入P源后完成的，源的纯度、流量都会直接影响到扩散的工艺参数方块电阻，由于生产过程中源的不断消耗，常常因为液面不足导致扩散后的方阻不均匀和偏大的现象，方块电阻太大或太小直接影响到成品后的转换效率，另一方面，由于液面太低，底部的源液作废舍弃，既浪费也存在安全隐患。
技术实现思路
技术目的本技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种可以充分 利用源夜的太阳能电池扩散用盛源装置。技术方案本技术所述的太阳能电池扩散用盛源装置，包括圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管，源瓶的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄。此结构作用在于源越来越少时，可以流入到最薄的地方，更好的蒸发，节约了源的浪费。源瓶的内底部为阶梯形圆环结构，阶梯形圆环结构由源瓶的瓶壁向中间逐渐收缩，送气管的上端位于源瓶上端面的中部，下端位于接近最底层圆环结构的底面处。有益效果1、相对于传统装置直接是水平地面，源用到一定程度会直接浪费，本技术通过设置源瓶的内底部由瓶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池扩散用盛源装置，包括圆柱形源瓶（1）和设置于源瓶上端的送气管（2）和出气管（3），其特征在于：所述源瓶（1）的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：翟金权，张超，勾宪芳，姜利凯，王鹏，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技镇江有限公司，
类型：实用新型
国别省市：