【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光伏行业中的扩散机，特别涉及一种石英管废气排风装置。
技术介绍
当前光伏电池片行业飞速发展，市场对产品质量的要求越来越高，产品竞争越来越激烈，要想在市场竞争中立足脚跟，必须从产品质量和降低成本下功夫。现有的扩散机在使用过程中，排风控制不稳定，产品在工艺过程中排风时大时小；废气管太粗，阀门太大不能有效的控制排风工作，从而浪费P0CL3电能、硅片；另外，由于P0CL3属于剧毒，也需要保证废气需要完全排出。
技术实现思路
本技术的目的就是针对现有技术存在的上述缺陷，提供一种石英管废气排风装置，在扩散过程中能够有效地控制排风量，时排风不稳，减少到最小。节约电能片源。其技术方案是主要由主排风管、球阀、废气管、废液瓶、大石英管、恒温槽、进气管和出气管组成，恒温槽内设有三氯氧磷，恒温槽通过进气管与大石英管连通，大石英管的出气管连接多个废液瓶，废液瓶的末端通过废气管连接到主排风管中，在所述的废气管与主排风管之间设有球阀。上述的废液瓶设有两组或三组，形成两级或三级废气过滤。本技术的有益效果是在扩散过程中能够有效地控制排风量，时排风不稳，减少到最小，同时降低了电能，水、HF等的使用，节省了成本。附图说明附图I是本技术的结构示意图；上图中主排风管I、球阀2、废气管3、废液瓶4、大石英管5、恒温槽6、进气管7和出气管8、小孔9。具体实施方式结合附图I，对本技术作进一步的描述本技术主要由主排风管I、球阀2、废气管3、废液瓶4、大石英管5、恒温槽6、进气管7和出气管8组成，恒温槽6内设有三氯氧磷，恒温槽6通过进气管7与大石英管5连通。大石英管5内腔的出气管设有多个小孔9，...
【技术保护点】
一种石英管废气排风装置，其特征是：主要由主排风管（1）、球阀（2）、废气管（3）、废液瓶（4）、大石英管（5）、恒温槽（6）、进气管（7）和出气管（8）组成，恒温槽（6）内设有三氯氧磷，恒温槽（6）通过进气管（7）与大石英管（5）连通，大石英管（5）的出气管（8）连接多个废液瓶（4），废液瓶（4）的末端通过废气管（3）连接到主排风管（1）中，在所述的废气管（3）与主排风管（1）之间设有球阀（2）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋道新，殷海峰，杨洪军，
申请(专利权)人：山东天信光伏新能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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