下载一种太阳能电池扩散用盛源装置的技术资料

文档序号:8430007

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本实用新型公开了一种太阳能电池扩散用盛源装置,它包括圆柱形源瓶和设置于源瓶上端的送气管和出气管,源瓶的内底部由瓶壁向中间厚度逐渐变薄,源瓶的内底部为阶梯形圆环结构,阶梯形圆环结构由源瓶的瓶壁向中间逐渐收缩,送气管的上端位于源瓶上端面的中部,...
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