可降低基板变形的孔板结构制造技术

本实用新型专利技术是提供一种可降低基板变形的孔板结构，其包含：一空调机；一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室可供设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口；至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度；通过所述气流孔与孔板之间具有夹角，且所述夹角的角度小于90度，也即所述气流孔与孔板之间具有一倾斜角度，可降低所述玻璃基板的弯曲变形，避免现有玻璃基板容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低的缺失，进而可使本实用新型专利技术达到提升产品良率的功效。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术为一种可降低基板变形的孔板结构，尤指可使所述孔板其气流孔吹出的气流以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的弯曲变形，进而可达到提升广品良率的功效。
技术介绍
一般半导体或面板产业的无尘室10，如中国台湾专利公开公报第201217719号「清净室」，请参阅图I所示，其由清净区域11、给气室12、空调机13、空气循环路16、过滤器14与数个喷嘴板15所组成，其中所述清净区域11设有制造设备M，给气室12设在所述清净区域11的顶棚，所述空气循环路16是将给气室12与空调机13连接，又所述过滤器14是设在所述空气循环路16上，所述喷嘴板15则固定设置在给气室12下方开口，且所述喷嘴板15上设有数个喷嘴151，通过所述喷嘴板15上设有喷嘴151，而可增强空气由所述喷·嘴151吹出时的风速与到达距离，可有效将制造设备M的发热去除，同时也可降低所述无尘室的空气总循环量，进而可使所述「清净室」可达到较佳空气循环效果的目的。所述现有的「清净室」，虽可达到较佳空气循环效果的目的，但所述喷嘴板15其喷嘴151系垂直朝下，请再配合参阅图2所示，当其运用于面板产业的无尘室10时，虽然由所述喷嘴151吹出的气流21也可达到冷却所述玻璃基板2的效果，但所述气流21会以90度角垂直吹向所述玻璃基板2表面，故容易使所述玻璃基板2受到较大的垂直力，致使所述玻璃基板2产生较大的弯曲变形，造成玻璃基板2在各阶段的制程中形成误差，进而导致产品良率降低，因此实有改进的必要。因此，如何将上述等缺失加以摒除，即为本案创作人所欲解决的技术困难点的所在。
技术实现思路
有鉴于现有的「清净室」，因易使玻璃基板受较大垂直力而弯曲变形，造成制程误差与产品良率降低，因此本技术的目的在于提供一种可降低基板变形的孔板结构，通过所述气流孔与孔板之间具有夹角，且所述夹角的角度小于90度，也即所述气流孔与孔板之间具有一倾斜角度，而可使所述孔板其气流孔吹出的气流以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的弯曲变形，避免现有玻璃基板容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低的缺失，进而可使本技术可达到提升产品良率的功效。为达成以上的目的，本技术是提供一种可降低基板变形的孔板结构，其包含一空调机；一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室可供设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口 ；至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度。其中，所述气流孔两端分别于所述孔板的上表面与下表面形成进气口与出气口。其中，各所述气流孔由进气口到出气口之间进一步呈放射状朝所述孔板的周缘方向倾斜。其中，还含有至少一个滤网，且所述滤网固设于所述给气室的容置空间内。通过所述气流孔与孔板之间具有夹角，且所述夹角的角度小于90度，也即所述气流孔与孔板之间具有一倾斜角度，而可使所述孔板其气流孔吹出的气流以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的弯曲变形，避免现有玻璃基板容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低的缺失，进而可使本技术可达到提升产品良率的功效。附图说明 图I为现有的架构示意图。图2为现有造成玻璃基板弯曲变形的动作示意图。图3为本技术的架构示意图。图4为本技术其孔板的部分示意图。图5为本技术的动作示意图。附图标记说明10_无尘室；11-清净区域；12-给气室；13-空调机；14-过滤器；15-喷嘴板；151_喷嘴；16_空气循环路；2_玻璃基板；21_气流；3_空调机；35_循环管路；4-给气室；41-容置空间；42_开口 ；5-滤网；6-孔板；61-气流孔；611_进气口 ；612_出气口 ；62_夹角；7_无尘室；M-制造设备。具体实施方式为使贵审查员方便简捷了解本技术的其他特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，兹将本技术配合附图，详细说明如下请参阅图3所示，本技术是提供一种可降低基板变形的孔板结构，其包含一空调机3 ；一给气室4，所述给气室4与空调机3之间以循环管路35相连接，所述给气室4可供设置于无尘室7的顶棚，所述给气室4内设有容置空间41，又所述给气室4下方设有开口42 ；至少一个滤网5，所述滤网5固设于所述给气室4其容置空间41内；至少一个孔板6，所述孔板6固设于所述给气室4下方的开口 42处，请再配合参阅图4所示，所述孔板6上设有数个气流孔61，请再参阅图3所示，且所述气流孔61与孔板6之间具有夹角62，又所述夹角62的角度小于90度，此外，请再参阅图4所示，所述气流孔61两端可分别于所述孔板6的上表面与下表面形成进气口 611与出气口 612，且各所述气流孔61由进气口 611到出气口 612之间可进一步呈放射状朝所述孔板6的周缘方向倾斜，由此，而可确保由所述气流孔61的出气口 612流出的空气皆会呈放射状向外分散；请参阅图3、图5所示，通过所述孔板6上设有数个气流孔61，且所述气流孔61与孔板6之间具有夹角62，又所述夹角62的角度小于90度，也即所述气流孔61与孔板6之间具有一倾斜角度，而可使所述孔板6其气流孔61吹出的气流21以一倾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板2，而如图5所示，而使所述气流21可在所述玻璃基板2上流过更大的面积范围与更远的距离，可对所述玻璃基板2达到更佳的冷却效果，同时也可减少所述玻璃基板2所承受的垂直力，而可降低所述玻璃基板2的弯曲变形，避免现有玻璃基板2容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低的缺失，进而可使本技术可达到提升产品良率的功效；此外，请再配合参阅图4所示，又通过各所述气流孔61由进气口 611到出气口 612之间进一步呈放射状朝所述孔板6的周缘方向倾斜，而可确保所有的气流21均是朝向外扩散的方向吹向所述玻璃基板2，除了可使不同位置的玻璃基板2均能达到更平均的冷却效果，也可避免不同方向的气流21因交错或接触而造成抵销或乱流，导致对所述玻璃基板2的冷却效果变差的问题，进而可使本技术可兼具达到更佳冷却效果的功效。为使本技术更加显现出其进步性与实用性，兹与现有作一比较分析如下现有技术I、气流垂直吹向玻璃基板，导致玻璃基板具有较大的弯曲变形。2、产品良率降低。本技术优点I、气流具倾斜角度吹向玻璃基板，可有效减少玻璃基板的弯曲变形。2、可提升广品良率。3、可对玻璃基板达到更佳的冷却效果。权利要求1.一种可降低基板变形的孔板结构，其特征在于，其包含 一空调机； 一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口 ； 至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板 之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度。2.根据权利要求I所述的可降低基板变形的孔板结构，其特征在于，所述气流孔两端分别于所述孔板的上表面与下表面形成进气口与出气口。3.根据权利要求2所述的可降低基板变形的孔板结构，其特征在于，各所述气流孔由进气口到出气口之间进一步呈放射状朝所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可降低基板变形的孔板结构，其特征在于，其包含:一空调机；一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口；至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柯安，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：