图案形成装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液并形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并能够恰当地进行喷出控制。喷嘴（31）的前端部呈楔形，在该前端上还具有进一步突出的突起部（310）。突起部（310）的下表面（310b）为与基板接近且相向的基板相向面，从该端部立起有逐渐远离基板（W）的喷出口配设面（310c）。在喷出口配设面（310c）中的与基板相向面（310b）相邻的位置上，设置有用于喷出涂敷液的喷出口（311）。喷出口（311）的周围及涂敷液供给路径（312）的周围壁面一体形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在基板表面上涂敷包含用于形成图案的材料的涂敷液来形成规定的图案的图案形成装置。
技术介绍
作为在基板上形成规定的图案的技术，具有在基板上涂敷包含用于形成图案的材料的涂敷液并使其固化的技术，至今为止已经提出了很多用于实现该技术的方案。例如专利文献I (日本特开2007-222770号公报)公开了一种能够适用于这种图案形成技术的喷嘴的结构(例如图2)。在该文献所记载的技术中，通过将设置有形成涂敷液的流通路径的凹部或槽的多个部件重合来构成喷嘴前端部，由此能够分解喷嘴，并且通过从外部夹紧并保持这些部件来防止液体从缝隙泄漏。 但是，近年来，越来越追求图案的高高宽比化及图案形成的高速化。即，追求用更短的时间形成图案高度对于宽度的比(高宽比(aspect ratio))高的图案。为此，需要能够向高粘度的涂敷液施加比至今为止更高的压力(例如IMPa以上)来挤压出该高粘度的涂覆液的技术。在上述现有技术的喷嘴构造中，有时不能够充分满足这种要求。具体来说，高的内部压力会导致喷嘴部件略微变形，毛细管现象会导致液体从部件的缝隙间渗出，由此会产生压力损失。因此，有时不能够对从喷出口喷出的涂敷液的剖面形状或喷出量等适当地进行喷出控制。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并适当地进行喷出控制。本专利技术的图案形成装置，为了达成上述目的，其特征在于，具有基板保持装置，其用于将基板保持为水平姿势，喷出头部，其与所述基板保持装置所保持的所述基板的表面相向配置，且用于喷出包含用于形成图案的材料的涂敷液，移动装置，其通过使所述基板保持装置所保持的所述基板与所述喷出头部进行相对移动，来使所述喷出头部沿着所述基板的表面在规定的扫描移动方向上进行扫描移动；在所述喷出头部上设置有内部积存所述涂敷液的积液部、喷出所述涂敷液的喷出口、从所述积液部向所述喷出口供给所述涂敷液的涂敷液供给路径，在所述喷出头部的下部设置有喷出口配设面和与所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，喷出口配设面在所述扫描移动方向上的所述基板相向面的后方侧端部与所述基板相向面相连接，而且离该后方侧端部越远则离所述基板表面越远；所述喷出口设置在所述喷出口配设面上的与所述基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，所述涂敷液供给路径的侧壁面及所述喷出口一体形成为一个构件。在这样构成的专利技术中，从积液部到喷出口的涂敷液供给路径及喷出口一体形成为一个构件。由此，不会产生在多个部件的接缝上渗出涂敷液的问题。因此，能够通过对涂敷液施加从积液部向喷出口的高的压力来压送涂敷液，另外能够抑制由压力损失而引起的喷出不稳定的问题。另外，在喷出头部的下部的喷出口配设面上设置的喷出口形成在与基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，该基板相向面与喷出口配设面相连接。因此，在喷出头部与基板表面相向配置的状态下，从喷出口的下端到基板表面的距离与从基板相向面到基板表面的距离大致相同。另外，通过使基板相向面接近基板表面，能够使喷出口的下端非常接近基板表面。因此，从喷出口喷出的涂敷液不经过残留在喷出口周边或者朝向基板落下的过程而立即与基板表面接触，并通过与基板表面的附着力能够停留在与基板表面接触的位置。因此，涂敷液能够流畅地从喷出头部内部向基板表面转移，且易于控制喷出的涂敷液的剖面形状。根据上述结构及其作用效果，在本专利技术中，能够用高的压力挤压出涂敷液，并且一边适当地进行喷出控制一边涂敷涂敷液。因此，能够高速形成剖面形状和尺寸被适当地控制后的图案。 在本专利技术中，例如，涂敷液供给路径的侧壁面、基板相向面及喷出口配设面可以一体形成。这样，由于成为一体的上述各部分为包围涂敷液供给路径及喷出口的结构，所以能够形成为耐高压的构造。进而，例如，还可以使喷出头部的内部形成为筒状的中空部，该中空部构成积液部，该中空部的壁面与涂敷液供给路径的侧壁面、基板相向面及喷出口配设面一体形成。这样，成为还包括构成积液部的中空部的壁面的一体结构。因此，由于涂敷液从积液部流到基板表面的过程中部件上没有接缝，进而能够更可靠地达到上述效果。在此，例如，还可以使喷出口与基板相向面之间的距离设为O，S卩，可以将喷出口的边缘部的一部分与基板相向面的后方侧端部一致。由此，能够使从喷出口喷出的涂敷液到达基板表面的时间几乎为O。因此，能够在基板表面上涂敷保留刚从喷出口喷出的剖面形状的涂敷液。另外，例如还可以沿着与扫描移动方向垂直的宽度方向排列有多个喷出口配设面，在各个喷出口配设面上分别设置有喷出口。或者，例如，还可以在喷出口配设面上，沿着与扫描移动方向垂直的宽度方向排列有多个喷出口。在上述结构中，能够从多个喷出口分别喷出涂敷液，从而通过喷出头部一次的扫描移动能够同时形成多个图案。因此，能够缩短在基板上形成图案所需的时间。在这些情况下，还可以沿着宽度方向等间隔地配置多个喷出口，并使基板相向面中的在宽度方向上最外侧的喷出口以外的部分的宽度比相互相邻的喷出口之间的间隔小。在形成多个等间隔的图案的情况下，通过喷出头部的一次扫描移动来形成与喷出口的数量相对应的多个图案，并使喷出头部相对于基板改变在基板宽度方向上的位置来反复进行以上的动作，由此形成多个等间隔的图案。此时，喷出头部有可能会接触到基板上的形成完的图案而损伤图案。特别是，在想要使基板相向面接近基板表面的情况下，更会产生这种问题。但是，以上述结构，由于基板相向面的端部从与形成完的图案相分离的位置通过，所以能够等间隔地形成图案且不损伤图案。另外，例如，还可以将喷出口配设面与基板表面之间的夹角设为在30度以上且60度以下。如果该角度很小，则由于在扫描移动方向上喷出口的后端部与基板表面之间的距离很小限制图案的高度，不适于形成高高宽比的图案。另外，如果该角度很大，则涂敷液供给路径的壁面与基板相向面之间的距离变小。其结果，涂敷液供给路径的壁面变薄从而对涂敷液的压力的耐压性下降。根据本专利技术的专利技术人的见解，该角度优选为30度到60度。在本专利技术中，由于从积液部到喷出口的涂敷液供给路径及喷出口一体形成而成为一个构件，所以不会产生由从部件的接缝渗出涂敷液而引起的压力损失。另外，在喷出头部下部的喷出口配设面中的与基板相向面相邻的位置上设置有喷出口，所以喷出口喷出的涂敷液能够立即接触到基板表面。根据上述结构，本专利技术能够用高的压力挤压出涂敷液，并且一边适当地进行喷出控制一边涂敷涂敷液。附图说明图I是表示能够适用于本专利技术的图案形成装置的一个例子的图。 图2是表示喷嘴的外观图。图3A、图3B是表示喷嘴的内部构造的图。图4是表示喷嘴的前端部的详细构造的第一放大图。图5A、图5B、图5C是表示喷嘴的前端部的详细构造的第二放大图。图6是表示形成完的图案与喷嘴经过位置的关系的图。图7A、图7B是表示喷嘴的变形例的图。附图标记说明I 图案形成装置3、4喷出单元14 载台(基板保持装置)15 载台移动机构(移动装置)31 喷嘴(喷出头部)310 突起部310b基板相向面310c喷出口配设面311 喷出口312 涂敷液供给路径CV 中空部(积液部)W 基板具体实施例方式图I是表示能够适用于本专利技术的图案形成装置的一个例子的图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成装置，其特征在于，具有：基板保持装置，其用于将基板保持为水平姿势，喷出头部，其与所述基板保持装置所保持的所述基板的表面相向配置，用于喷出包含用于形成图案的材料的涂敷液，移动装置，其通过使所述基板保持装置所保持的所述基板与所述喷出头部进行相对移动，来使所述喷出头部沿着所述基板的表面在规定的扫描移动方向上进行扫描移动；在所述喷出头部上设置有内部积存所述涂敷液的积液部、用于喷出所述涂敷液的喷出口、从所述积液部向所述喷出口供给所述涂敷液的涂敷液供给路径，在所述喷出头部的下部设置有喷出口配设面和与所述基板表面大致平行的基板相向面，其中，所述喷出口配设面在所述扫描移动方向上的所述基板相向面的后方侧端部与所述基板相向面相连接，而且离该后方侧端部越远则离所述基板表面越远；所述喷出口设置在所述喷出口配设面上的与所述基板相向面的后方侧端部相邻的位置上，所述涂敷液供给路径的侧壁面及所述喷出口一体形成为一个构件。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：岩岛正信，真田雅和，上野博之，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：