加热剥离型粘合片制造技术

在使用加热剥离型粘合片时，有时会错误使用根据被加工物的不同、工序的不同等而预定的加热剥离型粘合片。因此，为了防止产生这样的错误，有必要根据被加工物、工序的不同，明确地确认可使用的加热剥离型粘合片。另外，为无色透明的加热剥离型粘合片时，难以确认是否正确地贴附在被加工物上。另外，若仅对加热剥离型粘合片的粘合剂层着色，则存在着色剂来源的金属离子附着在电子零件等被加工物表面上，从而污染损伤电子零件的担心。为了解决这些问题，本发明专利技术提供一种加热剥离型粘合片，其特征在于，在基材的单面或两面设置有含有热膨胀性微球、着色剂的热膨胀性粘合层，或在基材的单面或两面夹着着色中间层设置有含有热膨胀性微球的热膨胀性粘合层，且总透光率为50%以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种加热剥离型粘合片。
技术介绍
半导体晶圆的切割、背面研磨等加工、制造电子零件时的切断等加工、光学零件等加工中，通过可靠地粘合于被加工物上而一体化，在这些加工时，通过将被加工物夹着加热剥离型粘合片固定于加工机械上，而使加工顺利进行。在加工这种被加工物时，需要将被加工物固定于加热剥离型粘合片的粘合剂层上的工序。该工序中，根据被加工物种类选择适当的加热剥离型粘合片。此时，这些加热剥离型粘合片的共同点在于为无色透明的片状，该加热剥离型粘合片的卷为新货品时在被包装的状态下，该包装材料上标识有产品编号等，因此即使存在多种加热剥离型粘合片，也可根据被加工物的种类选择加热剥离型粘合片。然而，一旦从上述包装材料中取出多种加热剥离型粘合片的卷，则卷自身并未标识有产品编号等，因而有如下的担心无法从外观上区分，无法在这些多种加热剥离型粘合片之间进行区分，混入别的加热剥离型粘合片，从而无法对被加工物使用正确的加热剥离型粘合片。进而，由于该加热剥离型粘合片为无色透明，因而贴附于被加工物上时根据被加工物而贴附的可见性差，无法顺利贴合。如专利文献I所示，已知通过在加热剥离型粘合片的发泡性粘合剂层中添加作为红外线吸收性物质的黑色或蓝色乃至绿色着色剂而赋予红外线吸收性的加热剥离型粘合片，其中，借由着色吸收红外线而进行有效发热、剥离。然而，这样的着色的目的并非在于根据不同产品编号而改变加热剥离型粘合片的着色，而是在于对通过加热进行发泡的所有加热剥离型粘合片进行同样的着色。而且，结果对所有产品编号的加热剥离型粘合片进行同样的着色，根据被加工物选择加热剥离型粘合片时，加热剥离型粘合片之间无法区分。另外，由于吸收红外线，加热剥离型粘合片的透光性降低，大部分光无法穿透。如专利文献2所示，还已知在加热剥离型粘合片的热膨胀性粘合层中含有热变色性微球颜料，但该热变色性微球颜料是为了确认粘合片是否均匀加热而含有的，故在使用该热膨胀性粘合层热膨胀前的加热剥离型粘合片之前为无色透明，从而在使用加热剥离型粘合片前，并未根据产品编号等改变加热剥离型粘合剂层的颜色。现有技术文献专利文献专利文献I :日本专利第4010643号专利文献2 :日本特开2003-16076
技术实现思路
专利技术要解决的问题在使用加热剥离型粘合片时，有时会错误使用根据被加工物的不同、工序的不同等而预定的加热剥离型粘合片。因此，为了防止产生这样的错误，有必要根据被加工物、工序的不同，明确地确认可使用的加热剥离型粘合片。另外，为无色透明的加热剥离型粘合片时，难以确认是否正确地贴附在被加工物上。另外，若仅将加热剥离型粘合片的粘合剂层着色，则存在着色剂来源的金属离子附着在电子零件等被加工物表面上，从而污染损伤电子零件的担心。用于解决问题的方案 因此，本专利技术人等使加热剥离型粘合片的加热剥离层中含有颜料，进而使该颜料添加量为适当的量，从而谋求提高可辨性、可见性，且减少金属离子的污染。具体而言I. 一种加热剥离型粘合片，其特征在于，在基材的单面或两面设置有含有热膨胀性微球、着色剂的热膨胀性粘合层，或在基材的单面或两面夹着着色中间层设置有含有热膨胀性微球的热膨胀性粘合层，且总透光率为50%以上。2.根据I所述的加热剥离型粘合片，其中，将所述加热剥离型粘合片贴附于被加工物上并剥离后，被加工物上的金属转印量以利用电感耦合等离子体质谱法测定的值计为1.0X 1010atoms/cm2 以下。3.根据1 2所述的加热剥离型粘合片，其中，将所述加热剥离型粘合片贴附于被加工物上在40°C下放置I天后进行加热剥离时，被加工物上的金属转印量以利用电感耦合等离子体质谱法测定的值计为I. OX lOWatoms/cm2以下。专利技术的效果本专利技术通过提高添加了颜料的胶带的可辨性，可以在使用本专利技术的加热剥离型粘合片加工多种被加工物时，根据被加工物的种类对应准备颜色不同的加热剥离型粘合片。在这样的准备之后进行被加工物的加工时，可以在使用时使适合于被加工物的加热剥离型粘合片具有可辨性，从而可以无误地使用上述加热剥离型粘合片，因而可以更可靠地加工被加工物。除此以外，贴附于被加工物上时，通过着色的加热剥离型粘合片可容易地确认是否正确贴附。并且，通过调节添加量对金属离子量进行限制，减少对电子零件(被加工物)的影响。进而，本专利技术的加热剥离型粘合片在将其贴附并剥离后，自热膨胀性粘合层向被加工物的金属转印量为特定的值以下即转印量极少，还发挥了防止由金属离子导致的电子零件的短路等不良影响的效果。附图说明图I为本专利技术的加热剥离型粘合片。图2为本专利技术的加热剥离型粘合片的其他例子。图3为使用本专利技术的加热剥离型粘合片的例子。附图标记说明I 基材2中间层2a照射能量射线后的固化的中间层3热膨胀性粘合层3a热膨胀性微球膨胀后的热膨胀性粘合层4 隔离体5粘接剂层6隔离体7被加工物 7a切断片8能量射线9切断线具体实施例方式本专利技术的加热剥离型粘合片为在晶圆、电子零件等加工时用于固定这些的加热剥离型粘合片，其特征在于，在基材的单面或两面设置有含有热膨胀性微球、着色剂的热膨胀性粘合层，且总透光率为50%以上。其中，作为使总透光率为50%以上的手段，可以考虑使用着色薄膜作为基材薄膜，但可用作基材薄膜的市售的薄膜均为无色透明等无法通过该基材薄膜进行颜色的识别的薄膜。进而，本专利技术的目的在于，在贴附加热剥离型粘合片并剥离后，自热膨胀性粘合层向电子零件等被加工物的金属转印量为特定的值以下这样的极少的转印量、防止由金属离子导致的对电子零件的不良影响。而且，使用这样的本专利技术的加热剥离型粘合片加工多种被加工物时，事先根据被加工物的种类对应准备颜色不同的加热剥离型粘合片。在这样的准备后，为了加工被加工物而贴附于被加工物上时，适合于被加工物的加热剥离型粘合片具有可辨性，可以无误地使用该加热剥离型粘合片，因而可以更可靠地加工被加工物。除此以外，本专利技术的目的在于，贴附于被加工物上时，通过着色的加热剥离型粘合片可容易地确认是否正确贴附。因此，如上所述，提出了一种加热剥离型粘合片，其特征在于，在基材的单面或两面设置有含有热膨胀性微球、着色剂的热膨胀性粘合层，或在基材的单面或两面夹着着色中间层设置有含有热膨胀性微球的热膨胀性粘合层，且总透光率为50%以上。该加热剥离型粘合片为以基材、含有热膨胀性微球与着色剂的热膨胀性粘合层为基本构成，含有热膨胀性微球与着色剂的热膨胀性粘合层可以设置在基材的单面或两面。设置在基材的单面时，可以在另一面上设置粘接剂层。而且，加工电子零件时，可以将固定了电子零件的具有该热膨胀性粘合层的该加热剥离型粘合片放置在加工装置的平台上，利用该基材的另一面的粘接剂层固定在平台上。当然，基材的另一面并非必须形成该粘接剂层，该情况下，也可利用将固定了电子零件的具有该热膨胀性粘合层的该加热剥离型粘合片设置在加工装置的平台上的固定手段、例如真空吸盘等进行固定。并且本专利技术的加热剥离型粘合片可以设置用于保护位于其表面的热膨胀性粘合层、基材、粘合剂层的隔离体。以下对构成本专利技术的加热剥离型粘合片的各层进行说明。基材I为中间层2等的支撑基体，其使用具有不因热膨胀性粘合层3的加热处理而有损机械物性的程度的耐热性的物质。作为这样的基材1，例如可以举出聚酯、烯烃系树脂、聚氯乙烯等塑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高见佳史，下川大辅，村田秋桐，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：
国别省市：