一种负压力探测联锁方法技术

一种负压力探测联锁方法，包括：(1)负压力探测器，(2)联锁控制电路。其特征在于，当探测器检测到负压时，(1)负压力探测器发出信号，(2)联锁控制电路能自动提示低(LOW)负压状态和高(HIGH)负压状态，确保设备排气和毒气能被抽到专门装置中，一旦排气负压失去则立即切断设备高压供电和工艺毒气，防止污染周围环境，避免对人员造成伤害。本发明专利技术提升设备的安全保护功能，可确保离子注入机本身以及设备周围环境安全，用于提高离子注入机的安全运行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别地涉及用于离子注入机中的设备安全和保证人员安全的自动运行方法，属于半导体设备领域。
技术介绍
离子注入机属于粒子加速器的一种，在离子注入机运转过程中应保证离子注入机有足够的排气负压力环境。因为离子注入机工作时，会使用到毒性工艺气体，如果设备排气负压力不够，则有毒气体会泄漏到设备以及周围的大气中，会对人员造成致命伤害。在离子注入机安装负压力探测装置检测负压力值，当压力低于高(HIGH)负压值时，设备发出预警信号，当压力低于低(LOW)负压值时，通过联锁电路立即切 断设备高压和气箱供电，并停止有毒工艺气体，使设备处于安全状态，防止事故发生。
技术实现思路
本专利技术针对离子注入机的特点而设计的一种简单且可自动执行的排气负压力探测报警方法。本专利技术专利采用如下技术方案来实现利用(I)负压力排气探测器检测和(2)联锁控制电路，实现自动预警和警报，并可立即切断高压电、气箱供电和毒性工艺气体。(I)负压力探测器，可以判断排气的负压力值，根据负压力的不同发出正常、预警和警报信号。第一，当(I)负压力探测器，探测到排气压力值大于高(HIGH)负压值时，设备排气正常；第二，当(I)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种负压力探测联锁方法，包括：(1)负压力探测器；(2)联锁控制电路，控制电路具有正常、预警和警报模块控制部分，其特征在于，当(1)负压力探测器检测设备排气负压，发出信号通过(2)联锁控制电路来自动预警和报警，并可立即切断设备高压电和毒性工艺气体，本专利技术是对离子注入机的安全性的改进，可确保离子注入机的毒性工艺气体不会对人和环境造成损害，确保离子注入机本身的安全运行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡东京，彭彬，孙勇，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
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