【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及仪器标定
，尤其涉及一种。
技术介绍
质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。MFC出厂前需要标定。标定即为通过修改MFC内部参数，从而使MFC在某一固定设定值下的控制流量输出值与高精度的流量标准显示的实际流量值一致。从O到满量程需要·检测多个点值，并需要检定各点线性以及重复精度等值。MFC主要分为数字和模拟两种形式。对于数字型MFC，标定过程一般使用带通讯功能的流量校准标准连接电脑，通过专用的标定软件实现进行计算修正、曲线拟合，最后将数据存入数字MFC的存储器中，从而完成标定。对于模拟型MFC，由于采用模拟比例-积...
【技术保护点】
一种数字化仪器标定调节装置，其特征在于，该装置包括：控制模块，与待标定仪器以及调节模块相连，用于根据所述待标定仪器的输出值，生成驱动所述调节模块的控制脉冲，并将所述控制脉冲发送至所述调节模块；调节模块，与控制模块以及所述待标定仪器相连，用于根据所述控制脉冲调节所述待标定仪器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：乔岳，马弢，闫伟欣，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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