【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及仪器标定
，尤其涉及一种数字化仪器标定装置。
技术介绍
1960年，在美国国家宇航局的阿波罗登月计划发展过程中，气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)应运而生,并且很快被研究人员应用于当时刚刚萌芽的半导体制造行业中。多年来，这项技术经历了在外观和性能方面的多种变化。从历史的超过30秒才能完成一个检测点，同时还要忍受误差±30%的手工操作时代，发展到今天的快速、高 精度、高可靠性、自动化、多功能的设备，气体质量流量控制器已经发生了巨大的变革。随着半导体技术的不断成熟，MFC的发展已经进入了鼎盛时期，高精度的MFC校准装置(标定装置)，能够在精度达到要求的同时，还可以进行现场的标定工作，这样就给一些使用量较大的半导体企业提供了很好的鉴定平台。我国的MFC标定装置还处于比较原始的阶段，与MFC的蓬勃发展相比标定装置显得步伐落后很多。目前已有模拟型标定仪采用普通的模拟电路搭接实现，且内部结构简单，量程及功能上都有很大局限性。传统的标定装置，标定方式为通过人工手动方式进行，只能实现0-10SLM(Standard Lit...
【技术保护点】
一种数字化仪器标定装置，其特征在于，该装置包括：处理模块，与待标定仪器相连，用于根据待标定仪器的温度及管路中的及压力，对待标定仪器进行检漏，并根据检漏结果以及标准流量值对所述待标定仪器进行标定；采集模块，与所述处理模块以及待标定仪器相连，用于根据所述处理模块发送的控制命令，采集所述待标定仪器的温度及管路中的压力，并将其转换为电压信号发送至所述处理模块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马弢，乔岳，谢明艳，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。