玻璃基板刻划方法技术

本发明专利技术提供一种玻璃基板刻划方法，能够容易且稳定地对表面被强化的玻璃基板形成期望的刻划槽，并防止自然分割。该刻划方法对表面具备带有压缩应力的强化层的强化玻璃基板进行刻划，该刻划方法包括龟裂限制槽形成工序和刻划槽形成工序。在龟裂限制槽形成工序中，在玻璃基板的表面，在刻划预定线的终端部，在与刻划预定线交叉的方向上形成具有预定宽度的龟裂限制用槽。在刻划槽形成工序中，在对玻璃基板的表面照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别涉及对 在表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃基板进行刻划的。
技术介绍
作为形成用于分割玻璃基板的刻划槽的方法，有使用激光来形成刻划槽的方法。在该情况下，通过沿着刻划预定线照射激光而使基板的一部分溶解、蒸发，来形成刻划槽。但是，在该方法中，有时被溶解、蒸发的基板的一部分附着在基板表面上，伴随而来的是质量的恶化。另外，在被溶解、蒸发的部分所形成的斑痕成为降低基板端面强度的原因。因此，作为其他的刻划槽形成方法，存在如在专利文献I或2中公开的方法。此处，在作为玻璃基板的刻划槽起点的地方，形成有初始龟裂，对该初始龟裂照射激光。由此，在激光照射部分产生热应力，龟裂发展而形成刻划槽。此外，在照射激光形成刻划槽的方法中，刻划槽的龟裂在玻璃基板的周缘部存在变深的趋势。在该状态下沿着刻划槽分割玻璃基板时，产生分割面的质量降低的问题、和刻划槽未能形成为直线的问题。因此，在专利文献3中，示出了在刻划预定线的终端部，形成没有形成有刻划槽的区域的激光刻划方法。记载了根据该方法无需进行复杂的控制即可提高玻璃基板终端部的分割后的截面质量。专利文献I日本特开平3-489号公报专利文献2日本特开平9-1370号公报专利文献3日本再公表特许W02007/094348号公报但是，最近的FPD (平板显示器)业界强调基板端面的强度，因此作为玻璃基板，主要使用表面形成有强化层的化学强化玻璃。该化学强化玻璃具有通过离子交换处理而使表面具有压缩应力的层(强化层)，在内部存在拉伸应力。这种化学强化玻璃最近特别是在要求端面强度的触摸面板等防护玻璃(coverglass)中应用。本申请专利技术人通过实验发现了如下情况在通过激光刻划方法在这种强化玻璃基板中的、最近开发的特别是表面为高强度的强化玻璃基板上形成了刻划槽的情况下，主要从刻划槽的终端部沿着刻划槽发展较深的龟裂，从而被自然分割。此处，自然分割是指如下现象在形成了刻划槽后，玻璃基板在不实施分割工序的情况下沿着刻划槽被分割开。认为自然分割是由于刻划槽的龟裂在玻璃基板的周缘部变深而引起的，并且认为沿着刻划槽发展而产生该较深的龟裂。并且，认为刻划槽的龟裂在玻璃基板的周缘部变深是基于以下理由。 在形成有刻划槽的玻璃基板的终端部，端面不受约束，因此刻划槽的两侧容易被分割开。 在形成有刻划槽的玻璃基板的终端部，不存在热量从此处传递向前方的场所，从而热量停滞在终端部。在由于以上的原因而产生自然分割时，后序工序的处理变得困难。在此，为了不在玻璃基板的周缘部形成刻划槽，考虑在刻划预定线的终端部贴上铝带来遮蔽激光的方法。但是，在该方法中，从生产率的观点出发不实用。此外，考虑通过控制激光的照射而不对玻璃基板的周缘部实施加热处理和冷却处理，由此使得刻划槽不到达刻划预定线的终端。但是，在该方法中，难以使刻划槽结束在期望的位置，没有稳定性。并且，本申请专利技术人发现不仅在玻璃基板的终端部，在开始端也产生了同样的问题。即，在作为刻划预定线的开始端的玻璃基板的端缘部形成初始龟裂时，在刻划槽的形成工序中，较深地形成了初始龟裂。并且，由于该较深的龟裂，在形成刻划槽后，玻璃基板在不 实施分割工序的情况下而被自然分割。因此，作为避免自然分割的对策，考虑从开始端(基板的端缘)以朝内部侧偏移的方式形成初始龟裂。但是，即使实施这种对策，也同样有成为自然分割的情况。对此时的现象进一步进行详细说明。首先，在刻划槽的形成工序中，有时从初始龟裂起与激光的扫描方向相反地，龟裂朝向玻璃基板的端缘发展。并且，在龟裂从初始龟裂起发展到玻璃基板的端缘时，玻璃基板的端缘部分的龟裂深度深到基板的整个厚度左右。由于在该端缘部形成的较深的龟裂，玻璃基板沿着刻划槽被自然分割。在产生这种自然分割时，后序工序的处理变得困难。在此，还可以考虑增加偏移量。但是，在增加偏移量时，在玻璃基板周缘部增加了无用的部分(不能确保为产品的部分)，从而成品率较差。
技术实现思路
本专利技术的课题在于，容易且稳定地尤其对表面被强化的玻璃基板形成期望的刻划槽，防止自然分割。第I专利技术的对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃基板进行刻划，该刻划方法包括龟裂限制槽形成工序和刻划槽形成工序。在龟裂限制槽形成工序中，在玻璃基板表面上在刻划预定线的终端部，在与刻划预定线交叉的方向上形成具有预定宽度的龟裂限制用槽。在刻划槽形成工序中，在对玻璃基板的表面照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。此处，在刻划预定线的终端部且在与刻划预定线交叉的方向上形成用于限制龟裂发展的槽。之后，对玻璃基板表面照射激光进行加热，并对加热后的区域进行冷却。通过该加热和冷却处理，龟裂沿着刻划预定线发展，从而形成刻划槽。龟裂的发展由于之前形成的龟裂限制槽而受到限制。因此，在刻划预定线的终端部没有形成刻划槽。利用该方法，能够防止在刻划预定线的终端部形成较深的龟裂，能够避免自然分害I]。此外，不需要粘贴铝带等烦杂的作业，而且能够使刻划槽的形成稳定地停止在期望的位置。第2专利技术的在第I专利技术的刻划方法中，还包括初始龟裂形成工序作为刻划槽形成工序的前序工序，在初始龟裂形成工序中，在玻璃基板的表面，去除强化层的一部分而形成初始龟裂。此处，通过刀轮等去除形成在玻璃基板表面的强化层的一部分，形成初始龟裂。之后，对初始龟裂照射激光进行加热，并对加热后的区域进行冷却。由此，初始龟裂沿着刻划预定线发展。因此，能够稳定形成期望的刻划槽。第3专利技术的玻璃基板的刻划方法对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃基板进行刻划，该刻划方法包括初始龟裂形成工序、刻划槽形成工序和龟裂限制槽形成工序。初始龟裂形成工序在玻璃基板的表面，去除强化层的至少一部分而形成初始龟裂。刻划槽形成工序在对玻璃基板的表面照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使初始龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。龟裂限制槽形成工序为了限制初始龟裂朝与刻划槽形成工序中的龟裂发展方向相反的方向发展，作为初始龟裂形成工序的前序处理或后序处理，在玻璃基板表面的、初始龟裂与玻璃基板的端缘之间、且在与刻划预定线延伸的方向交叉的方向上形成具有预定宽度的龟裂限制槽。·此处，在刻划预定线的开始端部附近形成有初始龟裂。此外，在初始龟裂与玻璃基板的端缘之间，在与刻划预定线延伸的方向交叉的方向上形成用于限制龟裂朝相反方向发展的槽。之后，对玻璃基板表面照射激光进行加热，并对加热后的区域进行冷却。通过该加热和冷却处理，龟裂沿着刻划预定线发展，从而形成刻划槽。此时，龟裂朝向刻划预定线的终端部发展，但是有时也朝相反方向发展。但是，该朝相反方向发展的龟裂由于形成在初始龟裂与玻璃基板的端缘之间的槽而停止。因此，能够避免初始龟裂朝相反方向发展从而在玻璃基板端缘部分形成较深的龟裂。因此，能够抑制刻划槽形成后的自然分割。此外，能够限制从初始龟裂朝向基板端缘的龟裂形成，因此能够减少初始龟裂与基板端缘之间的不能确保为产品的部分，从而能够提高产品的成品率。第4专利技术的在第I 第3专利技术的任意一个刻划方法中，在龟裂限制槽形成工序中，龟裂限制槽形成为在与刻划预定线垂直的方向上延伸。此处，龟裂限制槽在与刻划预定线垂直的方向上形成，因此能够进一步可靠停止龟裂的发展。第5专利技术的在第I 第4专利技术的任意一个刻划方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板刻划方法，对表面具备带有压缩应力的强化层的玻璃基板进行刻划，其中，所述刻划方法包括：龟裂限制槽形成工序，在玻璃基板表面上在刻划预定线的终端部，在与刻划预定线交叉的方向上形成具有预定宽度的龟裂限制用槽；以及刻划槽形成工序，在对玻璃基板的表面照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展而形成刻划槽。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：苏宇航，池田刚史，山本幸司，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：