用于表征玻璃板片特征的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术披露了一种表征移动玻璃板片的一个或多个属性的装置。该装置包括互补的机械材料操作技术，该技术渐进地稳定、定位、捕获、弄平和释放移动通过该装置的玻璃板片的下部，同时，对玻璃板片的顶部上施加最小的约束，玻璃板片本身受在各个制造工位之间移动玻璃板片的传输器约束。空气轴承是压力-真空（PV）型的装置，其包括独特的区域，使得玻璃板片经历非接触的但逐渐增加的约束力，直到可进行测量时为止，然后，逐渐地减小约束力，直到玻璃板片从检查工位中释放为止。该逐渐变化力的技术沿着玻璃板片移动方向应用，并还可沿着玻璃板片高度垂直向上地施加，以便限制玻璃板片的运动，而不在靠近传输器的捏合点处约束玻璃板片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用来表征玻璃板片特征的装置和方法，尤其是，涉及适于在玻璃板片移动时测量玻璃板片一个或多个选定属性的装置。
技术介绍
本专利技术涉及控制正在沿着预定路径进行传输的玻璃板片的运动和姿态，以使诸如形貌检测(例如，微观形貌，或纳米级上的形貌)之类的在线测量能有高的分辨率。薄玻璃板片的精确在线测量，尤其是，纳米级特征的测量，一贯地高度依赖于玻璃板片是否以预定的取向呈现在预定平面内，玻璃板是否消除了绝大部分的振动和摆动。诸如对厚度、波度和波筋的高精度测量那样的挑战，高度地依赖于玻璃表面是否给于测量仪以可重现的、高容差的材料处理。诸如对波筋和条纹的在线检测那样的在线过程的控制和质量测量遇到的问题是，在非质量区域内只是简单地夹住玻璃之时进行检测时缺乏可重复性。材料提出挑战的很大部分是，要保持玻璃板片沿着生产线移动，同时悬空在高架传输器上的运载器上方。该种限制经常使得测量在生产处理线的单独分开的检测部分上进行，即完全是离线的，或者与粗糙的传统在线材料处理相容的测量技术就被局限在其特性上(例如，分辨率)。在诸如硅晶片或纸和塑料幅材的其它行业内，高分辨率的度量是在线进行的，但在这些情形中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在玻璃板片移动通过装置时用来表征该玻璃板片特征的装置，该装置包括：空气轴承，所述空气轴承包括环形的内多孔体部分以及围绕所述内多孔体部分设置的外多孔体部分，所述内多孔体部分形成延伸通过所述空气轴承的厚度的中心通道；以及多个稳定空气刀，所述多个稳定空气刀相对于玻璃板片移动方向定位在所述空气轴承的上游；以及用以测量所述玻璃板片的至少一个属性的测量装置，所述测量装置与所述空气轴承的中心通道对齐。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·哈根，M·A·约瑟夫二世，P·R·勒布朗，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：