用于放置基板的存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于放置基板的存储装置。存储装置包括：盒盖；盒体，盒体与盒盖可拆卸地连接，盒盖与盒体之间形成存储空间；至少一对插板，可拆卸地设置在盒体的内部，每对插板彼此相对地布置，并且每个插板均包括多个平行且间隔设置的插槽。本实用新型专利技术通过在盒体内设置插板，并与盒盖相配合形成用于放置基板的存储空间。由于插板上设置有多个平行且间隔设置的插槽，从而可以将放置在存储装置内的每个基板独立隔开，因而减少了基板间的碰撞。本实用新型专利技术还具有结构简单、制造成本低等特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及基板存储领域，更具体地，涉及一种用于放置基板的存储装置。技术背景基板，例如大尺寸匀胶铬版，是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光洁度的玻璃基板上通过直流磁控溅射沉积上氮化铬氮氧化铬薄膜而形成铬膜基板，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。现有技术中基板一般放置在晶圆包装盒中存储。由于晶圆与基板的形状不同，所以晶圆包装盒的内部空间不能很好的满足基板的存储要求。而且晶圆包装盒是透明的，但存储基板时应需要满足其避光的存储要求，所以难以避免基板在存储的过程中发生曝光的情况。在运输的过程中，为保证不会发生基板与晶圆包装盒的盒壁碰撞而导致基板损坏的情况，所以在盒内与基板角部对应的位置采用硬物顶住的方式进行固定，但此方法导致加工工序复杂、制造成本高，且当震动较大的情况下易造成基板产生擦痕。
技术实现思路
本技术旨在提供一种用于放置基板的存储装置，以解决现有技术中存储基板时容易发生基板损坏的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于放置基板的存储装置，包括盒盖；盒体，盒体与盒盖可拆卸地连接，盒盖与盒体之间形成存储空间；至少一对插板，可拆卸地设置在盒体的内部，每对插板彼此相对地布置，并且每个插板均包括多个平行且间隔设置的插槽。进一步地,存储装置还包括减震部，减震部设置在盒盖的顶壁。进一步地，盒盖和盒体均包括不透光层。进一步地，盒盖包括第一容纳腔，盒体包括第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔配合形成存储空间。进一步地，第一容纳腔内设置有固定孔，减震部通过固定孔固定设置在盒盖上。进一步地，减震部是弹性软管或海绵件或橡胶件。进一步地，盒体的内侧壁包括对应设置的第一侧壁和第二侧壁以及对应设置的第三侧壁和第四侧壁，第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁围成盒体的内腔，第一侧壁和第二侧壁的两端分别固定设置有从盒体的底部向开口方向延伸的一个或多个卡板，卡板与相邻的第三侧壁或第四侧壁之间形成限位空间，插板包括卡设在限位空间内的第一插板。进一步地，第三侧壁和第四侧壁上均设置有卡扣凹槽，第一插板上设置有与卡扣凹槽相配合的卡扣。进一步地，插板还包括安装在盒体的底壁上的第二插板，第二插板上具有与第一插板上的插槽相对应的插槽。进一步地，盒体还包括提手，提手设置在盒体的两个相对设置的外侧壁上，并沿远离盒体的方向向外侧延伸。本技术通过在盒体内设置插板，并与盒盖相配合形成用于放置基板的存储空间。由于插板上设置有多个平行且间隔设置的插槽，从而可以将放置在存储装置内的每个基板独立隔开，因而减少了基板间的碰撞。本技术还具有结构简单、制造成本低等特点。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中 图I示意性示出了本技术中的存储装置的结构示意图；图2示意性示出了本技术中的存储装置的正向的结构示意图；以及图3示意性示出了图I中A的局部放大图。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明，但是本技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。本技术提供一种用于放置基板的存储装置。如图I所示，本技术的存储装置包括盒盖10 ;盒体20，盒体20与盒盖10可拆卸地连接，盒盖10与盒体20之间形成存储空间；至少一对插板40，可拆卸地设置在盒体20的内部,每对插板40彼此相对地布置，每个所述插板40均包括多个平行且间隔设置的插槽41。基板放置在盒体20内，并通过插板40进行间隔设置。为避免在搬运存储装置的过程中由于基板与盒体20、盒盖10发生碰撞而引发基板损坏的情况，所以盒体20和盒盖10不应制造得过大，而且基板放置在存储装置内后，基板应与盒体20、盒盖10有一定的抵接作用，从而保证基板放置的可靠性。由于设置了插板40，从而使得每个基板都被独立隔开，因而减少了基板间的碰撞，减少了基板损坏的情况。同时，本技术还具有结构简单、制造成本低等特点。本技术中的存储装置还包括减震部30，减震部30设置在盒盖10的顶壁。由于在盒盖10内设置有减震部30，从而使得基板放置在壳体内后与减震部30相接触，不仅提高了基板放置的可靠性，同时还避免了基板与盒体20、盒盖10直接发生碰撞，起到了减震缓冲的作用。优选地，如图I和图2所示的实施例中，盒盖10包括第一容纳腔11，盒体20包括第二容纳腔21，第一容纳腔11和第二容纳腔21配合形成存储空间。第一容纳腔11内设置有固定孔12，减震部30通过固定孔12固定设置在盒盖10上。优选地，减震部30可拆卸地与固定孔12连接。由于减震部30可拆卸，因而可以根据放置在存储装置内基板的大小，来调整减震部30的大小，从而保证基板可以稳固的放置在存储装置内。优选地，减震部30是弹性软管或海绵件或橡胶件。进一步地，减震部30是软管。基板放置在存储装置内后，软管会顶住基板。因为软管柔韧性好，所以不会损伤基板，而且在搬运存储装置的过程中也会起到良好的缓冲作用。软管还具有成本低、安装方便的特点。优选地，如图I和图2所示的实施例中，盒体20的内侧壁包括对应设置的第一侧壁22和第二侧壁23以及对应设置的第三侧壁25和第四侧壁26，第一侧壁22、第二侧壁23、第三侧壁25和第四侧壁26围成盒体20的内腔，第一侧壁22和第二侧壁23的两端分别固定设置有从盒体20的底部向开口方向延伸的一个或多个卡板24，卡板24与相邻的第三侧壁25或第四侧壁26之间形成限位空间，插板40包括卡设在限位空间内的第一插板43。优选地，两个第一插板43分别设置在第三侧壁25和第四侧壁26的上部。第一插板43的朝向第二容纳腔21的一侧包括上述的插槽41，基板卡设在插槽41内。放置基板时，每个基板都应独立的放置在两个对应设置的第一插板43的插槽所形成的放置空间内，从而减小基板之间的碰撞情况，防止基板损坏。进一步地，第一插板43的插槽的大小可以不同。由于第一插板43的插槽的大小不同，因而第一插板43可以用于放置不同型号的基板，使第一插板43具有良好的适用性。放置基板时，只需将对应型号的基板放置在相应型号的第一插板43的插槽内，就可以实现对基板的稳定放置。如图3所示，第三侧壁25和第四侧壁26上均设置有卡扣凹槽27，第一插板43上设置有与卡扣凹槽27相配合的卡扣42。由于盒体20上设置有卡扣凹槽27、第一插板43上设置有卡扣42，因而第一插板43可通过卡扣42卡接在卡扣凹槽27中，从而实现挂在盒体20的内侧壁上。由于设置了卡板24形成了限位空间，从而使得第一插板43挂在盒体20的内侧壁上后，可以卡设在限位空间中而不会脱落。优选地，如图I和图2所示的实施例中，卡板24与盒体20的内侧壁所形成的限位空间中还卡设有除第一插板43以外的插板40。插板40的一端与盒体20的底壁相接触，因而受到盒体20的底壁提供的支撑力，由于不需要挂接在盒体20的内侧壁上，所以该插板40不需要设置卡扣42，而直接卡放在限位空间中即可。如图2所示，插板40还包括安装在盒体20的底壁上的第二插板44，第二插板44上具有与第一插板43上的插槽相对应的插槽。由于第二插板44由底壁提供支撑力，所以不需要本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括：盒盖(10)；盒体(20)，所述盒体(20)与所述盒盖(10)可拆卸地连接，所述盒盖(10)与所述盒体(20)之间形成存储空间；至少一对插板(40)，可拆卸地设置在所述盒体(20)的内部，每对所述插板(40)彼此相对地布置，并且每个所述插板(40)均包括多个平行且间隔设置的插槽(41)。

【技术特征摘要】
1.一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括 盒盖(10)； 盒体(20)，所述盒体(20)与所述盒盖(10)可拆卸地连接,所述盒盖(10)与所述盒体(20)之间形成存储空间； 至少一对插板(40)，可拆卸地设置在所述盒体(20)的内部，每对所述插板(40)彼此相对地布置，并且每个所述插板(40)均包括多个平行且间隔设置的插槽(41)。2.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括减震部(30)，所述减震部(30)设置在所述盒盖(10)的顶壁。3.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述盒盖(10)和盒体(20)均包括不透光层。4.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述盒盖(10)包括第一容纳腔(11)，所述盒体(20)包括第二容纳腔(21)，所述第一容纳腔(11)和所述第二容纳腔(21)配合形成所述存储空间。5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述第一容纳腔(11)内设置有固定孔(12)，所述减震部(30)通过所述固定孔(12)固定设置在所述盒盖(10)上。6.根据权利要求5所述的存储装置，其特征在于，所述减震部(30)是弹性软管或海绵件或橡I父件。7.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓辉，李弋舟，陈社诚，
申请(专利权)人：湖南电子信息产业集团有限公司，湖南普照信息材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：