【技术实现步骤摘要】
本技术涉及基板存储领域，更具体地，涉及一种用于放置基板的存储装置。技术背景基板，例如大尺寸匀胶铬版，是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光洁度的玻璃基板上通过直流磁控溅射沉积上氮化铬氮氧化铬薄膜而形成铬膜基板，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。现有技术中基板一般放置在晶圆包装盒中存储。由于晶圆与基板的形状不同，所以晶圆包装盒的内部空间不能很好的满足基板的存储要求。而且晶圆包装盒是透明的，但存储基板时应需要满足其避光的存储要求，所以难以避免基板在存储的过程中发生曝光的情况。在运输的过程中，为保证不会发生基板与晶圆包装盒的盒壁碰撞而导致基板损坏的情况，所以在盒内与基板角部对应的位置采用硬物顶住的方式进行固定，但此方法导致加工工序复杂、制造成本高，且当震动较大的情况下易造成基板产生擦痕。
技术实现思路
本技术旨在提供一种用于放置基板的存储装置，以解决现有技术中存储基板时容易发生基板损坏的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于放置基板的存储装置，包括盒盖；盒体，盒体与盒盖可拆卸地连接，盒盖与盒体之间形成存储空间；至少...
【技术保护点】
一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括：盒盖(10)；盒体(20)，所述盒体(20)与所述盒盖(10)可拆卸地连接，所述盒盖(10)与所述盒体(20)之间形成存储空间；至少一对插板(40)，可拆卸地设置在所述盒体(20)的内部，每对所述插板(40)彼此相对地布置，并且每个所述插板(40)均包括多个平行且间隔设置的插槽(41)。
【技术特征摘要】
1.一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括 盒盖(10)； 盒体(20)，所述盒体(20)与所述盒盖(10)可拆卸地连接,所述盒盖(10)与所述盒体(20)之间形成存储空间； 至少一对插板(40)，可拆卸地设置在所述盒体(20)的内部，每对所述插板(40)彼此相对地布置，并且每个所述插板(40)均包括多个平行且间隔设置的插槽(41)。2.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括减震部(30)，所述减震部(30)设置在所述盒盖(10)的顶壁。3.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述盒盖(10)和盒体(20)均包括不透光层。4.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述盒盖(10)包括第一容纳腔(11)，所述盒体(20)包括第二容纳腔(21)，所述第一容纳腔(11)和所述第二容纳腔(21)配合形成所述存储空间。5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述第一容纳腔(11)内设置有固定孔(12)，所述减震部(30)通过所述固定孔(12)固定设置在所述盒盖(10)上。6.根据权利要求5所述的存储装置，其特征在于，所述减震部(30)是弹性软管或海绵件或橡I父件。7.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓辉，李弋舟，陈社诚，
申请(专利权)人：湖南电子信息产业集团有限公司，湖南普照信息材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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