用于放置基板的存储装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了用于放置基板的存储装置。存储装置包括：壳体，壳体包括上壳体和下壳体，上壳体和下壳体之间形成存储空间；插架，插架嵌设在下壳体的内部，具有多个彼此独立的插架凹槽。本实用新型专利技术通过在壳体内设置插架，从而形成用于放置基板的存储空间。由于插架上设置有多个彼此独立的插架凹槽，从而将每个基板独立隔开，因而减少了基板间的碰撞。本实用新型专利技术还具有结构简单、制造成本低等特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及基板存储领域，更具体地，涉及一种用于放置基板的存储装置。
技术介绍
基板，例如小尺寸匀胶铬版，是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板。它是在平整的、高光洁度的玻璃基板上通过直流磁控溅射沉积上氮化铬氮氧化铬薄膜而形成铬膜基板，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。现有技术中基板一般放置在晶圆包装盒中存储。由于晶圆与基板的形状不同，所以晶圆包装盒的内部空间不能很好的满足基板的存储要求。而且晶圆包装盒是透明的，但存储基板时应需要满足其避光的存储要求，所以难以避免基板在存储的过程中发生曝光的情况。在运输的过程中，为保证不会发生基板与晶圆包装盒的盒壁碰撞而导致基板损坏的情况，所以在盒内与基板角部对应的位置采用硬物顶住的方式进行固定，但此方法导致加工工序复杂、制造成本高，且当震动较大的情况下易造成基板产生擦痕。
技术实现思路
本技术旨在提供一种用于放置基板的存储装置，以解决现有技术中存储基板时容易发生基板损坏的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于放置基板的存储装置，包括壳体，壳体包括上壳体和下壳体，上壳体和下壳体之间形成存储空间；插架，插架嵌设在下壳体的内部，具有多个彼此独立的插架凹槽。进一步地，存储装置还包括缓冲部，缓冲部设置在上壳体的顶壁上。进一步地，上壳体和下壳体均包括不透光层。进一步地，上壳体包括第一容纳腔，下壳体包括第二容纳腔，第一容纳腔和第二容纳腔配合形成存储空间。进一步地，第一容纳腔内设置有卡槽，缓冲部通过卡槽可拆卸地设置在上壳体上。进一步地，缓冲部是弹性软管或海绵件或橡胶件。进一步地,第二容纳腔内设置有多个卡板,各个卡板从第二容纳腔的底壁向所第二容纳腔的开口延伸，插架卡设在相邻两个卡板所形成的卡接空间中。进一步地，插架包括插架容纳腔，插架的相对侧壁上对应设置有插架凹槽。进一步地，插架的相邻两侧壁上的插架凹槽的大小不同。进一步地，插架还包括设置在插架底部的支撑板。进一步地，上壳体的连接端设置有第一连接凸缘，下壳体的连接端设置有与第一连接凸缘配合的第二连接凸缘。进一步地，第一连接凸缘上设置有向下壳体延伸的凸沿，第二连接凸缘设置有与凸沿相对应的卡口，凸沿为多个，多个凸沿沿壳体的纵向中平面对称设置在第一连接凸缘上；卡口与凸沿对应地设置。本技术通过在壳体内设置插架，从而形成用于放置基板的存储空间。由于插架上设置有多个彼此独立的插架凹槽，从而将每个基板独立隔开，因而减少了基板间的碰撞。本技术还具有结构简单、制造成本低等特点。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中图I示意性示出了本技术中的上壳体的结构示意图；图2示意性示出了本技术中的下壳体的结构示意图；以及图3示意性示出了本技术中的插架的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明，但是本技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。本技术提供一种用于放置基板的存储装置。如图I至图3所示，本技术的存储装置包括壳体，壳体包括上壳体10和下壳体20，上壳体10和下壳体20之间形成存储空间；插架40，插架40嵌设在下壳体20的内部，具有多个彼此独立的插架凹槽41。优选地，插架40可拆卸地嵌设在下壳体20的内部。基板放置在壳体内，并通过插架40进行间隔设置。为避免在搬运存储装置的过程中由于基板与壳体碰撞而引发基板损坏的情况，所以壳体不应制造得过大，而且基板放置在存储装置内后，基板应与壳体有一定的抵接作用，从而保证基板放置的可靠性。由于设置了插架40，从而使得每个基板都被独立隔开，因而减少了基板间的碰撞，减少了基板损坏的情况。同时，本技术还具有结构简单、制造成本低等特点。本技术中的存储装置还包括缓冲部，缓冲部设置在上壳体10的顶壁。由于在上壳体10内设置有缓冲部，从而使得基板放置在壳体内后与缓冲部相接触，不仅提高了基板放置的可靠性，同时还避免了基板与壳体直接发生碰撞，起到了减震缓冲的作用。优选地,如图I和图2所不的实施例中，上壳体10包括第一容纳腔11，下壳体20包括第二容纳腔21，第一容纳腔11和第二容纳腔21配合形成存储空间。第一容纳腔11内设置有卡槽12，缓冲部通过卡槽12可拆卸地设置在上壳体10上。由于缓冲部可拆卸，因而可以根据放置在存储装置内基板的大小，来调整缓冲部的大小，从而保证基板可以稳固的放置在存储装置内。优选地，缓冲部是弹性软管或海绵件或橡胶件。进一步地，缓冲部是中空软管。基板放置在存储装置内后，软管会顶住基板。因为软管柔韧性好且中空，所以不会损伤基板，而且在搬运存储装置的过程中也会起到良好的缓冲作用。软管还具有成本低、安装方便的特点。本技术中的第二容纳腔21内设置有多个卡板22，各个卡板22从第二容纳腔21的底部向所第二容纳腔21的开口延伸，插架40卡设在相邻两个卡板22所形成的卡接空间中(请参考图I和图2)。优选地，卡板22设置在壳体的每两个相邻的内侧壁的连接区域。由于设置了卡板22，使得相邻内侧壁上的两个卡板22与两个内侧壁共同形成了插架40的卡接空间，从而使插架40卡放在壳体内不会随意晃动，进一步保证了基板放置的可靠性。优选地，如图3所示的实施例中，插架40包括插架容纳腔，插架40的相对侧壁上对应设置有上述的插架凹槽41。放置基板时，每个基板都应独立的放置在两个对应设置的插架凹槽41所形成的放置空间内，从而减小基板之间的碰撞情况，防止基板损坏。进一步地，插架40的相邻两侧壁上的插架凹槽41的大小不同。由于插架凹槽41的大小不同，因而插架40可以用于放置不同型号的基板，使插架40具有良好的适用性。放置基板时，只需将对应型号的基板放置在相应型号的插架40的插架凹槽41内，就可以实现对基板的稳定放置。优选地，如图3所示的实施例中，插架40还包括设置在插架40底部的支撑板42。 基板放置在存储装置内后，支撑板42为基板提供支撑力，从而将基板托起，保证基板存放在插架容纳腔内。本技术中的上壳体10的连接端设置有第一连接凸缘13，下壳体20的连接端设置有与第一连接凸缘13配合的第二连接凸缘23 (请参考图I和图2)。优选地，第一连接凸缘13上设置有外缘边，第二连接凸缘23上设置有内缘边，且外缘边与内缘边相配合。当上壳体10与下壳体20连接时，第一连接凸缘13与第二连接凸缘23相接触，且外缘边与内缘边相叠合，使得存储装置内形成一个密封的存储空间。优选地，如图I和图2所示的实施例中，第一连接凸缘13上设置有向下壳体20延伸的凸沿14，第二连接凸缘23设置有与凸沿14相对应的卡口 24，凸沿14为多个，多个凸沿14沿壳体的纵向中平面对称地设置在第一连接凸缘13上；卡口 24与凸沿14对应地设置。由于设置了凸沿14和卡口 24，从而实现了将上壳体10与下壳体20相卡接。优选地，凸沿14是两个(当然凸沿14还可以是四个、六个等)。两个对称设置的凸沿14与相应的卡口 24相配合，不仅可以实现将上壳体10与下壳体20卡接，还节省了制造成本、简化了制造工艺。本技术中的基板(例如，小尺寸匀胶铬版)，如果是易曝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体包括上壳体(10)和下壳体(20)，所述上壳体(10)和所述下壳体(20)之间形成存储空间；插架(40)，所述插架(40)嵌设在所述下壳体(20)的内部，具有多个彼此独立的插架凹槽(41)。

【技术特征摘要】
1.一种用于放置基板的存储装置，其特征在于，包括 壳体，所述壳体包括上壳体(10)和下壳体(20),所述上壳体(10)和所述下壳体(20)之间形成存储空间； 插架(40)，所述插架(40)嵌设在所述下壳体(20)的内部，具有多个彼此独立的插架凹槽(41)。2.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述存储装置还包括缓冲部，所述缓冲部设置在所述上壳体(10)的顶壁上。3.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述上壳体(10)和所述下壳体(20)均包括不透光层。4.根据权利要求I所述的存储装置，其特征在于，所述上壳体(10)包括第一容纳腔(11)，所述下壳体(20)包括第二容纳腔(21)，所述第一容纳腔(11)和所述第二容纳腔(21)配合形成所述存储空间。5.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述第一容纳腔(11)内设置有卡槽(12)，所述缓冲部通过所述卡槽(12)可拆卸地设置在所述上壳体(10)上。6.根据权利要求5所述的存储装置，其特征在于，所述缓冲部是弹性软管或海绵件或橡月父件。7.根据权利要求4所述的存储装置，其特征在于，所述第二容纳腔(21)内设置有多个卡板(22)，各个所述卡板(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，
申请(专利权)人：湖南电子信息产业集团有限公司，湖南普照信息材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：