压印用复制模的制造方法技术

本发明专利技术提供一种廉价且在强度、柔软性等方面具有良好特性的压印用复制模的制造方法。本发明专利技术的复制模的制造方法具有以下的工序。（A）在基材上涂布有机无机复合材料的工序，（B）通过热和/或电磁波使涂布面半固化制成微细凹凸图案形成用基材的工序，（C）利用压印法将形成有规定的微细凹凸图案的母模挤压在该微细凹凸图案形成用基材上来转印微细凹凸图案的工序，以及（D）对转印的该微细凹凸图案形成用基材照射电磁波而使其固化的工序。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及压印用模的复制品的制造方法。本申请对在2010年6月23日申请的日本国专利申请第2010-143118号主张优先权，并将其内容援引于此。
技术介绍
近年来，作为微细凹凸图案的形成方法，开发了被称为压印法的能够忠实转印微细图案的技术(参照非专利文献I)。对于压印法，大多将纳米级的称为纳米压印法，另外将微米级的称为压印法，但在此将两者一并称为压印法。在压印工序中，将模(mold)挤压在树脂上，从而将模上的图案转印在树脂上。在此使用的模材料一般价格高，并且由于图案的破损、树脂的粘附等，难以长时间使用。因此， 对用于使母模长寿命化的技术进行开发，另一方面将模的图案转印在更廉价的材料上，将其作为母模的复制品而使用进行压印，由此实现生产成本的削减。目前为止，作为压印用复制模材料，例如已知有聚酰胺低聚物(专利文献I)、玻璃系、氟系烃聚合物(专利文献2)、高分子量热塑性聚合物与低分子量热塑性聚合物的混合物 (专利文献3)、环状烯烃共聚物(专利文献4)、玻璃系、聚二甲基硅氧烷等。然而，以往的材料存在强度、柔软性、成型性等问题。另一方面，本专利技术人等开发了含有聚硅氧烷系组合物、紫外线固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊泽和久，芝田大干，
申请(专利权)人：日本曹达株式会社，
类型：
国别省市：