一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法技术

本发明专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明专利技术提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺，在提高产能效率的基础，有效控制产品生产周期的失控，进而提升产品的准时交货率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及。
技术介绍
目前，在工厂实现大规模量产后，其产品的生产周期均是由人工控制，即当发现某lot的准时交货时间有问题时，只能通过人工方式改变该lot的优先权，以使得该lot能够准时交货；但由于是人工控制，而且都是当lot的交货时间可能滞后才对lot的优先级进行调控，很容易由于调控不当或时间紧迫，需要付出成倍的人力和产能才能准时交货，甚至有些lot的生产周期失控根本就无法赶上交货时间，从而严重影响准时交货率。 图I是本专利技术
技术介绍
中由于生产周期失控造成不良影响的示意图；如图I所示，当客户将大量订单交付给工厂后，由于线上产品多且复杂，人工调控不当易造成生产周期的失控，进而影响产品的准时交货率，最终造成客户满意度的降低而丧失订单，使得工厂蒙受巨大的损失；如某一 lot的优先级是4，但由于在某个站点进程(process)问题被耽搁(hold)两天,当恢复进程(release)后没有被注意到,势必会影响该lot的准时交货率。图2是本专利技术
技术介绍
中采用人工控制的产品生产周期的正态分布图，纵轴表示lot数量比例，横轴表示生产周期(单位为天/光罩层)；如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，其特征在于，于一站点上，对已送达的所有lot进行组别划分；确认每个lot的交货期；计算每个lot的紧迫性系数；根据所述紧迫性系数重新赋予上述每个lot的优先级；根据优先级依次对每个lot进行该站点的制程工艺。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严丽辉，赵伟，柯陈宾，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：