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本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法。本发明提出一种有效控制晶圆生产过程中生产周期失控的方法，通过采用紧迫性系数对已送达至某一站点的所有lot重新赋予优先级，并根据该重新赋予的优先级依次对每个lot...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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