具有高精度超光滑表面的铝合金材料及抛光盘、抛光液和抛光方法技术

本发明专利技术公开了一种具有高精度超光滑表面的铝合金材料的抛光方法，另公开了一种抛光盘和抛光液，抛光盘包括底盘、抛光垫、抛光膜和压紧件，抛光垫外包覆有抛光膜，压紧件箍住抛光膜的边缘并使抛光垫紧靠底盘的下表面，抛光垫为聚二甲基硅氧烷橡胶制作。抛光液主要由水、金刚石微粉、过氧化氢和表面活性剂配制而成。本发明专利技术的抛光方法为：先采用单点金刚石车削工艺对铝合金材料的表面进行一次抛光，再采用计算机控制光学表面成形工艺及前述抛光盘和抛光液对一次抛光后的表面进行二次抛光。本发明专利技术可以获得具有高精度超光滑表面（粗糙度Ra≤2nm、面形RMS值≤λ/10）的铝合金材料。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学材料的表面抛光
，尤其涉及一种抛光后的铝合金材料及其相应的抛光设备、抛光液和抛光工艺。
技术介绍
铝合金在红外、可见光、一直到紫外光的较宽的光谱范围内都具有非常高的反射率，这使得它成为多光谱成像应用的良好选择。另外，铝合金加工性能好、质量轻、价格便宜，具有较高的导热性。铝合金还是许多光学系统特别是航空应用中首选的支撑件材料，支 撑结构和光学元件都采用同样的铝材料可以避免由于不同的热膨胀系数弓I起的热应力。但是，由于铝合金抛光性能差，易于氧化，因此难以获得高精度的超光滑表面。单点金刚石车削铝合金能够获得粗糙度Ra (Ra :轮廓算术平均偏差)优于5nm的镜面，但是铝合金表面会残留周期性的车削刀纹，影响成像质量。单点金刚石车削本质上属于范成法加工，被车削的铝合金表面精度受限于车床运动精度和工件装夹变形，难以得到高精度面形。机械化学抛光(CMP)是可以实现全局平坦化的方法，美国NASA Goddard航天中心在US 6966820B1中提到，将墨汁加入到抛光液中，抛光铝镜可以获得超光滑表面，但是不能实现材料的定点定量去除；英特尔公司在CN101208399A号中国本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有高精度超光滑表面的铝合金材料，其特征在于：所述铝合金材料的粗糙度Ra≤2nm，所述铝合金材料的面形RMS值≤λ/10。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尹自强，戴一帆，石峰，聂徐庆，铁贵鹏，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科学技术大学，
类型：发明
国别省市：