下载具有高精度超光滑表面的铝合金材料及抛光盘、抛光液和抛光方法的技术资料

文档序号:8363087

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本发明公开了一种具有高精度超光滑表面的铝合金材料的抛光方法,另公开了一种抛光盘和抛光液,抛光盘包括底盘、抛光垫、抛光膜和压紧件,抛光垫外包覆有抛光膜,压紧件箍住抛光膜的边缘并使抛光垫紧靠底盘的下表面,抛光垫为聚二甲基硅氧烷橡胶制作。抛光液主...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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