高纯气体输送设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀；主进气管路B与气瓶柜内部的主进气管路A相连，主进气管路B在进气方向上依次设有主管路手动阀、主管路压力表、主管路气动阀、管路遮断阀，主进气管路B与支管路连接，支管路在进气方向上依次设有支管路手动阀、高压侧支管路气动阀、支管路调压阀、低压侧支管路压力传感器、支管路过滤器、低压侧支管路手动阀；本实用新型专利技术具有气体压力及流量供应稳定的优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

高纯气体输送设备
本技术专利涉及一种气体输送设备，特别涉及一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。
技术介绍
光伏、光纤、LED、IXD及半导体等行业中常用到许多高纯气体，随着行业的不断发展，生产规模不断扩大，对于高纯气体的需求量也越来越大，但因为技术所限，目前高纯气体输送设备常常存在供应能力不足的问题，气体压力及流量不稳定，无法保证进行正常稳定的生产。
技术实现思路
本技术专利的目的在于提供一种气体压力及流量供应稳定的高纯气体输送设备。为了实现上述目的，本技术提出如下技术方案实现高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G-N2抽气管路、P-N2进气管路、H-N2进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、 主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排本文档来自技高网...

【技术保护点】
高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；其特征在于：气瓶柜与VMB相连；气瓶柜内部设有钢瓶、主进气管路A、排气管路A、吹净管路、G？N2抽气管路、P？N2进气管路、H？N2进气管路、磅秤；钢瓶设置于磅秤上，主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀，主进气管路A在高压侧压力传感器与高压侧主管路气动阀间、主管路过滤器与低压侧主管路气动阀间分别与高压侧排气管路、低压侧排气管路连接，高压侧排气管路上设有高压侧排气管路气动阀，低压侧排气管路上设有低压侧排气管路气动阀...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马全合，张磊，石志强，
申请(专利权)人：无锡奥维特电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：