大流量NH3供应系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种大流量NH3供应系统，储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内，加热介质为水；主进气管在进气端与进气过滤器之间的部位分别与高压侧支排气管路、P-N2吹净管路相连，主进气管在调压阀与低压侧压力表之间的部位与低压侧支排气管路连接；排气管路与G-N2抽气管路连接；本实用新型专利技术具有流量稳定、气化性能好的优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术专利涉及一种气体输送设备，特别涉及一种大流量NH3供应系统。技术背景NH3被广泛应用于电子行业生产制造中，在NH3输送过程中，为了能够输送更长的距离，一般输送管道内都会加压，而由于NH3本身的性质，加压后沸点升高，在常温下就会液化，使得NH3供应流量不稳定，影响正常生产的进行
技术实现思路
本技术专利的目的在于提供一种流量稳定、气化性能好的大流量NH3供应系统。·为了实现上述目的，本技术提出如下技术方案实现大流量NH3供应系统，由储气瓶、电加热膜、磅秤、主进气管、进气过滤器、高压侧气动阀、汽化器、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀、P-N2吹净管路、吹净管路气动阀、G-N2抽气管路、抽气管路气动阀、真空发生器、排气管路、排气管路压力表、高压侧支排气管路、高压侧支排气管路气动阀、低压侧支排气管路、低压侧支排气管路气动阀组成；其特征在于储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接，主进气管在进气方向上依次设有进气过滤器、高压侧气动阀、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内；主进气管在进气端与进气过滤器之间的部位分别与高压侧支排气管路、P-N2吹净管路相连，高压侧支排气管路上设有高压侧支排气管路气动阀，P-N2吹净管路上设有吹净管路气动阀，主进气管在调压阀与低压侧压力表之间的部位与低压侧支排气管路连接，低压侧支排气管路上设有低压侧支排气管路气动阀；高压侧支排气管路与低压侧支排气管路合并后组成排气管路，排气管路上设有排气管路压力表，排气管路与G-N2抽气管路连接，G-N2抽气管路上设有抽气管路气动阀、真空发生器，真空发生器设置在与排气管路相连的部位。所述的加热介质为水。所述高压侧气动阀、调压阀、低压侧气动阀、手动阀、吹净管路气动阀、抽气管路气动阀、高压侧支排气管路气动阀、低压侧支排气管路气动阀均采用哈氏合金制成。本技术专利可解决的技术问题是储气瓶外部包覆电加热膜，高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器内部加热介质采用35-40°C的水，对主进气管进行水浴加热，在源头和高压输送部分都设有加热装置，对管道内的NH3进行加热，使得NH3在高压状态下，仍然保持气态，最大供应流量可达1000L/M，为大流量的稳定供应提供了保障；储气瓶采用两用两备的供应方式，当磅秤显示气量不足时，可在不切断管路的情况下更换储气瓶，实现不间断供气的可能；配有P-N2吹净管路、G-N2抽气管路、排气管路，保证了更换储气瓶时相关人员的安全；系统内阀门均采用哈氏合金制成，提高了耐腐蚀性能，延长了使用寿命。附图说明图I为本技术结构图。具体实施方式如图所示，大流量NH3供应系统，由储气瓶I、电加热膜2、磅秤3、主进气管4、进气过滤器5、高压侧气动阀6、汽化器7、高压侧压力表8、调压阀9、低压侧压力表10、低压侧气动阀11、出气过滤器12、手动阀13、P-N2吹净管路14、吹净管路气动阀15、G-N2 抽气管路16、抽气管路气动阀17、真空发生器18、排气管路19、排气管路压力表20、高压侧支排气管路21、高压侧支排气管路气动阀22、低压侧支排气管路23、低压侧支排气管路气动阀24组成；储气瓶I外表包覆电加热膜2，储气瓶I放置于磅秤3上；主进气管4与储气瓶I上设有的气象出口 25连接，主进气管4在进气方向上依次设有进气过滤器5、高压侧气动阀6、 高压侧压力表8、调压阀9、低压侧压力表10、低压侧气动阀11、出气过滤器12、手动阀13 ；在高压侧气动阀6与高压侧压力8表间的主进气管4设置于汽化器7内，汽化器7由隔热层26、电加热器27、加热介质28组成，电加热器27设置于隔热层26内腔底部，隔热层26内腔注满加热介质28，主进气管4浸没在加热介质28内；主进气管4在进气端与进气过滤器5之间的部位分别与高压侧支排气管路21、P-N2吹净管路14相连，高压侧支排气管路21上设有高压侧支排气管路气动阀22，P-N2吹净管路14上设有吹净管路气动阀15，主进气管4在调压阀9与低压侧压力表10之间的部位与低压侧支排气管路23连接，低压侧支排气管路23上设有低压侧支排气管路气动阀24 ;高压侧支排气管路21与低压侧支排气管路23合并后组成排气管路19，排气管路19上设有排气管路压力表20，排气管路19与G-N2抽气管路16连接，G-N2抽气管路16上设有抽气管路气动阀17、真空发生器18，真空发生器18设置在与排气管路16相连的部位；系统内阀门均采用哈氏合金制成。工作时，开启一侧的储气瓶I，并使用电加热膜2加热，NH3由储气瓶I上的气象出口 25进入主进气管4，打开高压侧气动阀6，NH3经进气过滤器5过滤进入汽化器7，在汽化器7内由35-40°C的水进行水浴加热，使NH3保持气态继续流动，高压侧压力表8可测量管内NH3流量是否正常，NH3经调压阀9降压后，低压侧压力表10可测量管内NH3流量是否正常，打开低压侧气动阀11、手动阀13，NH3经出气过滤器12过滤进入工作区域；由于储气瓶I采用两备两用的供应方式，备用管路相对于主用管路对应设置，当开启其中一个管路供气时并不会影响另一条管路的清洗工作；当磅秤3显示储气瓶I内气体不足时，关闭低压侧气动阀11，阻断气路，开启吹净管路气动阀15、高压侧支排气管路气动阀22、低压侧支排气管路气动阀24，并开启抽气管路气动阀17，在高纯氮气的吹扫下，可将管内气体冲洗干净，同时开启备用储气瓶I进行供气。在源头和高压输送部分都设有加热装置，对管道内的NH3进行加热，使得NH3在高压状态下，仍然保持气态，最大供应流量可达1000L/M，为大流量的稳定供应提供了保障；储气瓶I采用两用两备的供应方式，当磅秤3显示气量不足时，可在不切断管路的情况下更换储气瓶1，实现不间断供气的可能；配有P-N2吹净管路14、G-N2抽气管 路16、排气管路19，保证了更换储气瓶时相关人员的安全；系统内阀门均采用哈氏合金制成，提高了耐腐蚀性能，延长了使用寿命。权利要求1.大流量NH3供应系统，由储气瓶、电加热膜、磅秤、主进气管、进气过滤器、高压侧气动阀、汽化器、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀、P-N2吹净管路、吹净管路气动阀、G-N2抽气管路、抽气管路气动阀、真空发生器、排气管路、排气管路压力表、高压侧支排气管路、高压侧支排气管路气动阀、低压侧支排气管路、低压侧支排气管路气动阀组成；其特征在于储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的 气象出口连接，主进气管在进气方向上依次设有进气过滤器、高压侧气动阀、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内；主进气管在进气端本文档来自技高网...

【技术保护点】
大流量NH3供应系统，由储气瓶、电加热膜、磅秤、主进气管、进气过滤器、高压侧气动阀、汽化器、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀、P？N2吹净管路、吹净管路气动阀、G？N2抽气管路、抽气管路气动阀、真空发生器、排气管路、排气管路压力表、高压侧支排气管路、高压侧支排气管路气动阀、低压侧支排气管路、低压侧支排气管路气动阀组成；其特征在于：储气瓶外表包覆电加热膜，储气瓶放置于磅秤上；主进气管与储气瓶上设有的气象出口连接，主进气管在进气方向上依次设有进气过滤器、高压侧气动阀、高压侧压力表、调压阀、低压侧压力表、低压侧气动阀、出气过滤器、手动阀；在高压侧气动阀与高压侧压力表间的主进气管设置于汽化器内，汽化器由隔热层、电加热器、加热介质组成，电加热器设置于隔热层内腔底部，隔热层内腔注满加热介质，主进气管浸没在加热介质内；主进气管在进气端与进气过滤器之间的部位分别与高压侧支排气管路、P？N2吹净管路相连，高压侧支排气管路上设有高压侧支排气管路气动阀，P？N2吹净管路上设有吹净管路气动阀，主进气管在调压阀与低压侧压力表之间的部位与低压侧支排气管路连接，低压侧支排气管路上设有低压侧支排气管路气动阀；高压侧支排气管路与低压侧支排气管路合并后组成排气管路，排气管路上设有排气管路压力表，排气管路与G？N2抽气管路连接，G？N2抽气管路上设有抽气管路气动阀、真空发生器，真空发生器设置在与排气管路相连的部位。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高东旭，马全合，
申请(专利权)人：无锡奥维特电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：