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本实用新型涉及一种高纯气体输送设备，由气瓶柜、VMB组成；主进气管路A与钢瓶连接，主进气管路A在进气方向上依次设置有高压侧压力传感器、高压侧主管路气动阀、主管路调压阀、低压侧压力传感器、主管路过滤器、低压侧主管路气动阀、主进气管路A手动阀；...
该专利属于无锡奥维特电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥维特电子科技有限公司授权不得商用。

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