一种嵌入式FOUP推车制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种嵌入式FOUP推车，通过放置台上嵌入式设置FOUP凹槽，从而能有效的防止FOUP在搬送过程的安全性和稳定性，从而提高了放置在FOUP中的测量标准片在静置或移动过程中的安全性，能有效避免由于测量标准片在搬送过程中损坏造成的成本损失。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种嵌入式FOUP推车。
技术介绍
前端开口娃片片盒(Front Opening Unified Pod,简称F0UP),—般用于搬送测量标准片。图I是本技术
技术介绍
中传统FOUP推车的结构示意图；如图I所示，传统的FOUP推车I 一般采用围栏式设计，以防止FOUP倾倒，但是其围栏11的高度只有20_，远小于FOUP的高度，所以预防放置的FOUP倾倒效果不佳，且该推车I的放置台尺寸大于两个FOUP的尺寸，易造成放置的FOUP在围栏内进行大角度的转动，使得在该推车I搬送测量标准片的运送或静置过程中的安全性不高，易造成测量标准片的损坏，而测量标准片价格非常高，从而增大生产成本。·
技术实现思路
本技术公开了一种嵌入式FOUP推车，包括一推车，其中，所述推车的放置台上嵌入设置有凹槽，所述凹槽的形状与FOUP的形状相匹配。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述放置台包括相同形状的第一放置台和第二放置台，所述第二放置台设置在所述第一放置台的正下方。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述第一放置台与所述第二放置台之间的垂直距离大于所述FOUP的高度。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述第一放置台上嵌入设置有第一凹槽，所述第二放置台上嵌入设置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形状相同，且所述第二凹槽设置在所述第一凹槽的正下方。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述凹槽的长度大于FOUP投影的长度5mm，所述凹槽的宽度大于FOUP投影的宽度5mm。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述凹槽的长为392-412mm，所述凹槽的宽为357-377mm，嵌入深度为 30_120mm。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述凹槽的嵌入深度为80mm。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述放置台的长度为650mm，宽度为550mm。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述凹槽宽边距离所述放置台的一宽边的距离为130 mm，所述凹槽长边距离所述放置台的长边的距离为95 mm。上述的嵌入式FOUP推车，其中，所述凹槽的长边的长度为395mm，圆角的半径为40mmo综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种嵌入式FOUP推车，通过放置台上嵌入式设置FOUP凹槽，从而能有效的防止FOUP在搬送过程的安全性和稳定性，从而提高了放置在FOUP中的测量标准片在静置或移动过程中的安全性，能有效避免由于测量标准片在搬送过程中损坏造成的成本损失。附图说明图I是本技术
技术介绍
中传统FOUP推车的结构示意图；图2是本技术嵌入式FOUP推车的结构示意图；图3是本技术嵌入式FOUP推车的投影示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明图2是本技术嵌入式FOUP推车的结构示意图；·图3是本技术嵌入式FOUP推车的投影示意图。如图1-6所示，本技术一种嵌入式FOUP推车，在FOUP推车2上设置第一放置台21和第二放置台23，其中，第二放置台23设置在第一放置台21的正下方，且两放置台之间的垂直距离大于放置在其上的FOUP的高度，以使得FOUP能够放置在第二放置台23上；第一放置台21上嵌入设置有第一凹槽22，第一凹槽22的形状与FOUP的形状相匹配，且第一凹槽22具有一定的深度，以使得放置在第一凹槽22中的FOUP不易倾斜或转动，设置在第二放置台23上的第二凹槽24与第一凹槽22的形状相同，且第二凹槽24设在第一凹槽22的正下方。其中，第一、二凹槽22、24的长、宽边长度均大于FUOP投影的长、宽边一定冗余长度，以使得FOUP能方便的放入凹槽中且又不会在移动时产生较大的转动，该冗余长度一般为5mm。而根据现今FOUP的规格,第一、二凹槽的长边长度设置为392_412mm,宽边长度为357-377mm，嵌入深度为 30_120mm。具体的，如图1-2所示，在长度为650mm，宽度为550mm的第一放置台21上，在距离其长边距离95mm处设置长度为395mm、宽度为360mm的第一凹槽22，该第一凹槽22的一宽边距离第一放置台21的宽边距离为130mm,且其嵌入深度为80mm,圆角半径为40mm,以放置长为390_、宽为355_的FOUP。而设置在第二放置台23上的第二凹槽24的设置位置与形状均与第一凹槽22 —致，且第一放置台21与第二放置台23之间的垂直距离大于放置其上FOUP的高度。当进行测量标准片的搬送时，将测量标准片放置在FOUP内后，将FOUP放置在与其匹配的推车上放置台的凹槽内，由于凹槽形状与FOUP形状匹配，且有一定的深度，当FOUP在静置或移动时能有效的防止其转动或倾斜，经过实际测量FOUP在本技术中的推车上水平方向的最大可旋转角度仅为3°，而传统推车上水平方向的可旋转角度最大为13°，控制旋转角度提高了 77%，防倾斜能力提高了 32%。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种嵌入式FOUP推车，通过放置台上嵌入式设置FOUP凹槽，从而能有效的防止FOUP在搬送过程的安全性和稳定性，从而提高了放置在FOUP中的测量标准片在静置或移动过程中的安全性，能有效避免由于测量标准片在搬送过程中损坏造成的成本损失。通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本技术精神，还可作其他的转换。尽管上述技术提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。 对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本技术的真实意图和范围的全部变化和修正。 在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本技术的意图和范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种嵌入式FOUP推车，包括一推车，其特征在于，所述推车的放置台上嵌入设置有凹槽，所述凹槽的形状与FOUP的形状相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种嵌入式FOUP推车，包括一推车，其特征在于， 所述推车的放置台上嵌入设置有凹槽，所述凹槽的形状与FOUP的形状相匹配。2.根据权利要求I所述的嵌入式FOUP推车，其特征在于，所述放置台包括相同形状的第一放置台和第二放置台，所述第二放置台设置在所述第一放置台的正下方。3.根据权利要求2所述的嵌入式FOUP推车，其特征在于，所述第一放置台与所述第二放置台之间的垂直距离大于所述FOUP的高度。4.根据权利要求3所述的嵌入式FOUP推车，其特征在于，所述第一放置台上嵌入设置有第一凹槽，所述第二放置台上嵌入设置有第二凹槽，所述第一、二凹槽的形状相同，且所述第二凹槽设置在所述第一凹槽的正下方。5.根据权利要求1-4中任意一项所述的嵌入式FOUP推车，其特征在于，所述凹槽的长度大于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张颖，周菱霖，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：