一种TFT阵列检测框架及检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种TFT阵列检测框架及检测设备，用于解决现有TFT阵列检测框架兼容性差，其上的检测探针容易损坏及容易造成阵列基板损坏的技术问题。本实用新型专利技术通过用弹性导电部件代替检测探针，并且弹性导电部件的固定支架和TFT检测框架位置可调，从而实现多种型号的产品共用一个TFT检测框架。本实用新型专利技术不仅节省了购买各种型号TFT检测框架的费用，同时还能够彻底解决由于探针损坏扎碎阵列基板而造成的不必要损失。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及薄膜场效应晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display，TFT-LCD)制造工艺的基板电路电学特性测试领域，特别涉及TFT阵列的检测设备-阵列测机台(Array tester)的探针框架。
技术介绍
TFT-IXD制造过程大概可以分为三个阶段(I)TFT阵列工艺即简称Array工艺，在一张较大的玻璃基板上形成若干独立的TFT阵列电路形成TFT阵列基板，每个像素阵列区对应一个液晶显示屏(panel)；(2)对盒工艺，在TFT阵列基板上涂布液晶，覆盖彩色滤光片，对盒成IXD面板并切割成独立的液晶显示屏；(3)模组工艺，为液晶显示屏安装背光源，偏振片以及周边电路，形成完整的TFT-LCD显示模块。在Array工艺中，通过半导体中常用的掩膜-曝光工艺，在玻璃基板上形成TFT阵列电路，TFT阵列电路的优劣直接决定了 TFT-IXD的品质，因此对于TFT阵列电路、即TFT阵列基板的检测也就成为制造流程中的重要工序。图I为传统的阵列检测设备的结构示意图，采用传统阵列检测设备进行TFT阵列基板检测时，探针框架5上安装的检测探针I与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种TFT阵列检测框架，其特征在于，包括：主框架(9)、固定支架(10)、紧固件(11)、外部信号输入端子(12)、滑动杆(13)、弹性导电部件(14)；在固定支架(10)上开有多个并列的调节孔(15)，紧固件(11)穿过调节孔(15)将主框架(9)和固定支架(10)连接在一起；外部信号输入端子(12)的头部与弹性导电部件(14)接触，尾部与位于固定支架(10)上的滑动杆(13)连接；弹性导电部件(14)固定在固定支架(10)内侧，由导电弹性导电部件和绝缘弹性导电部件相互间隔组成。

【技术特征摘要】
1.一种TFT阵列检测框架，其特征在于，包括主框架(9)、固定支架(10)、紧固件(11)、外部信号输入端子(12)、滑动杆(13)、弹性导电部件(14)； 在固定支架(10)上开有多个并列的调节孔(15)，紧固件(11)穿过调节孔(15)将主框架(9)和固定支架(10)连接在一起； 外部信号输入端子(12)的头部与弹性导电部件(14)接触，尾部与位于固定支架(10)上的滑动杆(13)连接； 弹性导电部件(14)固定在固定支架(10)内侧，由导电弹性导电部件和绝缘弹性导电部件相互间隔组成。2.根据权利要求I所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴晓光，林子锦，田震寰，赵海生，杨魏松，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：