一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器制造技术

本实用新型专利技术实施例提供一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，包括透明衬底（1）以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底（1）上的多个单层可动微梁单元（2）；所述透明衬底（1）对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。本实用新型专利技术实施例提供的非制冷红外成像焦平面阵列探测器，对目标物体进行检测时，由于衬底透明，避免了硅衬底对于来自目标物体的红外光的遮挡和反射引起的能量损失，可有效提高检测灵敏度；同时，因为衬底透明，也无需对衬底进行镂空，避免了制作全镂空结构所需的长时间体硅腐蚀工艺，简化制作流程，提高产品成品率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及红外成像
，尤其涉及一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器。
技术介绍
众所周知，一切温度高于绝对零度的物体均可产生红外辐射，且该红外辐射的强度及能量分布与物体温度有关，载有物体的特征信息。通过检测物体的红外辐射，可将人类不可见的红外图景转化为可见的图像。常见的红外探测装置可分为量子型(制冷)红外探测器和热型(非制冷)红外探测器两种。其中量子型红外探测器将红外辐射的光子能量直接转化为电子能量；热型红外探测器则是通过检测目标物体的红外辐射引起的探测器温度变化来捕捉红外信息。 由于红外光光子的受激电子能量与室温下的电子热运动能量相当，因此量子型的红外探测器需要在液氮(温度77K)制冷以抑制电子热运动，这导致量子型红外探测器价格曰虫印贝ο热型红外探测器无需液氮制冷，大大减少了制作成本，使红外技术大面积应用成为可能。但是，常见的基于热电效应工作的探测器的其他情况，如由于输入电流会在探测器单元上产生附加热量，所以这种探测器很难准确检测到入射的红外辐射；由于金属导线的存在使该探测器单元之间热隔离困难，限制了探测器的温升性能；此外，所述热型红外探测器的热电效应都很微弱，这些情况要求与本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，包括透明衬底（1）以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底（1）上的多个单层可动微梁单元（2）；所述透明衬底（1）对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。

【技术特征摘要】
1.一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，包括透明衬底(I)以及以非嵌套的方式平铺在所述透明衬底(I)上的多个单层可动微梁单元(2);所述透明衬底(I)对与所述非制冷红外成像焦平面阵列探测器相配套的读出光路的光线透明。2.根据权利要求I所述的非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，所述单层可动微梁单元(2)包括支撑结构(201)、热形变结构(202)和红外吸收及可见光反射复合结构(203)，所述热形变结构(202)有两组，分别位于所述红外吸收及可见光反射复合结构(203 )的两侧，所述热形变结构(202 )一端与同一平面内的所述红外吸收及可见光复合结构(203)相连接，另一端与所述支撑结构(201)相连接。3.根据权利要求2所述的非制冷红外成像焦平面阵列探测器，其特征在于，所述单层可动微梁单元(2 )通过所述支撑结构(201)与所述透明衬底(I)锚接。4.根据权利要求2所述的非制冷红外成像焦...

【专利技术属性】
技术研发人员：高超群，焦斌斌，刘瑞文，尚海平，陈大鹏，叶甜春，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：实用新型
国别省市：