在基板上形成导电性图案的方法技术

本发明专利技术公开一种在基板上形成导电性图案的方法，其包含将具有至少一开口的塑料薄膜掩模固定于基板上，并使导电性材料通过该开口而施予该基板上，并进一步于该开口所界定的空间固化该导电性材料而形成导电性图案。根据本发明专利技术的方法可使导电性图案的宽度小于约3倍的高度，而降低电阻值。当应用于太阳能电池时，在导电性图案宽度缩小下增加基板的受光面积，进而可提升整体效率。本发明专利技术也提供一种于硅片上形成导线的方法及一种太阳能电池。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种，特别是涉及ー种于硅片上形成导线的方法及利用此方法而制得的太阳能电池。
技术介绍
导线在各式电子用品中为极重要的元件，导线的电阻值决定了导线的效能。而于太阳能电池技术中，提升光电转换效率最快方式之ー为增加电池正面的受光面积，通常采取的方式为将电池正面的导线(电极)宽度设计得愈细(窄)，以减少导线对电池正面占据过多的受光面积时，所衍生的转换效率不佳等问题。然而，縮小导线宽度即代表导线截面积減少，如此会使得电池于传导时的阻值升高，将会影响到转换效率。因此，为克服此问题，通常采取的作法为制作出具有较佳高宽比的导线，亦即使导线在宽度变窄时，其高度也同步増加，以使其截面积維持一定，如此，其可維持在低阻值的状态，进一歩地，可使得电池正面的受光面积增加，从而提升电池的转换效率。。目前现有于基板上形成导线的方法通常采网印方式，其将包含导电性材料的浆料，施于具有对应导线图案网孔的网版上，并通过刮刀(squeegee)将该浆料通过网孔而施加于基板上，接着除去网版，将浆料经烘干或视需要进ー步烧结，而制得位于基板上的导线。然而此现有的方法受限于网版的制作精密度，一般而言仅能形成大于50 μπι的网孔，不易缩小导线的宽度，再者，通过网版印刷的浆料因具有流动性，当印刷后网版弹回吋，浆料通常会发生坍塌，不但无法得到预期的高度，反而会因向两侧流动而导致导线产生过度扩线的问题，最后制得的导线宽度往往大于70 μ m，因此无法制得高宽比较佳的导线。业界为解决上述的问题，已发展出利用多次印刷的方式，而制得高宽比较佳的导线，其在前述网印的烘干过程后，将网版再度定位于基板上，而重复进行印刷、烘干的程序以堆高导线，然而此方法过程繁复，涉及定位程序，不易达到高精细度，故仍无法满足现今对于导线的要求。因此，本领域中极需开发于基板上形成高精细度低电阻值的导电性图案的方法，以克服现有技术的缺点。
技术实现思路
本专利技术利用塑料薄膜掩模的设计，而将导电性图案形成于基板上，其包含将具有至少ー开ロ的塑料薄膜掩模固定于基板上，并使导电性材料通过该开ロ而施予该基板上，并进一歩于该开ロ所界定的空间固化该导电性材料而形成导电性图案。根据本专利技术的方法可令导电性图案具有较佳的高度与宽度比，从而可降低电阻值，并当应用于太阳能电池吋，減少基板上受到导电性图案遮蔽的遮光面积。因此，本专利技术关于ー种，其包含(a)、提供一基板及提供ー塑料薄膜掩模，其中该塑料薄膜掩模包含至少ー开ロ，其形状对应欲形成的导电性图案，其中该塑料薄膜掩模的材料包含热塑型塑料，该热塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步骤中不产生形变；(b)、固定该塑料薄膜掩模于该基板上，使该塑料薄膜掩模上的该开ロ与该基板欲形成导电性图案的位置相对应；(c)、施予导电性材料于该塑料薄膜掩模上，该导电性材料通过该塑料薄膜掩模的该开ロ ；(d)、固化该导电性材料，使其于该塑料薄膜掩模的该开ロ所界定的空间内形成该导电性图案；及(e)、分尚该塑料薄膜掩模与该基板。本专利技术也提供ー种于硅片上形成导线的方法，其包含(a)、提供一硅片及提供ー塑料薄膜掩模，其中该塑料薄膜掩模包含至少ー开ロ，其形状对应欲形成的导线图案，其中该塑料薄膜掩模的材料包含热塑型塑料，该热塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步骤中不产生形变；(b)、固定该塑料薄膜掩模于该硅片上，使该塑料薄膜掩模上的该开ロ与该硅片欲形成导线图案的位置相对应；(C)、施予导线材料于该塑料薄膜掩模上，该导线材料通过该塑料薄膜掩模的该开Π ；(d)、固化该导线材料，使其于该塑料薄膜掩模的该开ロ所界定的空间内形成该导线图案；及(e)、分离该塑料薄膜掩模与该硅片。本专利技术又提供ー种太阳能电池，其包含硅片 '及导线图案；其中该导线图案具有ー侧面及ー顶面，该顶面具有ー宽度，该侧面具有一高度，该览度小于约3倍的该闻度，且该览度小于约60 u m及该闻度大于约20 u m。附图说明图I至图4显示根据本专利技术于基板上形成导电性图案的方法的一实施例的剖面示意图；图5至图8显示根据本专利技术于基板上形成导电性图案的方法的另ー实施例的剖面示意图；及图9至图12显示根据本专利技术于基板上形成导电性图案的方法的再一实施例的剖面示意图。主要元件符号说明I具有导电性图案的基板2具有导电性图案的基板3具有导电性图案的基板11 基板12塑料薄膜掩模413导电性材料21 基板22塑料薄膜掩模23导电性材料31 基板32塑料薄膜掩模33导电性材料121 开ロ211选择性射极区221 开ロ312抗反射层321 开ロ具体实施例方式參看图I至图12，本专利技术关于ー种于基板上形成导电性图案的方法，其包含(a)、如图I、图5及图9所示，提供一基板11、21、31及提供ー塑料薄膜掩模12、22、32，其中该塑料薄膜掩模12、22、32包含至少ー开ロ 121、221、321，其形状对应欲形成的导电性图案，其中该塑料薄膜掩模的材料包含热塑型塑料，该热塑型塑料于下述(b)、(C)、(d)及(e)步骤中不产生形变；(b)、如图2、图6及图10所示，固定该塑料薄膜掩模12、22、32于该基板11、21、31上，使该塑料薄膜掩模上的该开ロ 121、221、321与该基板欲形成导电性图案的位置相对应；(C)、如图3、图7及图11所示，施予导电性材料13、23、33于该塑料薄膜掩模12、22,32上，该导电性材料13、23、33通过该塑料薄膜掩模的该开ロ 121、221、321 ；(d)、固化该导电性材料13、23、33，使其于该塑料薄膜掩模的该开ロ 121、221、321所界定的空间内形成该导电性图案13、23、33 '及(e)、如图4、图8及图12所示，分离该塑料薄膜掩模12、22、32与该基板11、21、31。根据本专利技术的基板适用于欲于其上形成导电性图案的各式电子用品基板，在本专利技术的较佳具体实施例中，该基板选自由硅片、蓝宝石基板、玻璃基板、神化镓基板、碳化硅基板、聚亚酰胺基板、陶瓷基板及聚こ烯对苯ニ甲酸酯基板所组成之群；更佳地，该基板为硅片，例如供作太阳能电池的基板，以容导线形成于其上。在本专利技术的ー较佳具体实施例中，该基板包含ー粗糙表面，当供作太阳能电池的基板时，可降低入射光线的反射。參看图5至图8，在本专利技术的ー较佳具体实施例中，该基板21为ー硅片，该基板21包含一选择性射极区211，其形成于基板中对应欲形成的导电性图案的位置，该选择性射极区211的磷掺杂浓度高于非对应欲形成的导电性图案的位置，以达到电子传递低阻抗的效果，当应用于太阳能电池时，可提高太阳能电池效能。參看图9至图12，在本专利技术的ー较佳具体实施例中，该基板包含ー抗反射层312。例如当该基板充作太阳能电池的基板时，该基板上预先处理而包含ー抗反射层，再容导线形成于其上，以增进太阳能电池的效能，其预先处理方法及抗反射层的材料为本专利技术所属
中具通常知识者所熟知，例如将氮化硅或氧化硅等绝缘材料施于基板上以作为抗反射层。更佳地，该基板同时包含粗糙表面及抗反射层，且该粗糙表面位于该抗反射层下方。根据本专利技术的塑料薄膜掩模其材料及性质不限，惟其包含热塑型塑料，且该热塑型塑料于根据本专利技术的方法的(b)、(c)、(d)及(e)步骤中不产生形变者，较佳地，该塑料薄膜掩模具有抗酸碱的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在硅片上形成导线的方法，其包含：(a)、提供一硅片及提供一塑料薄膜掩模，其中该塑料薄膜掩模包含至少一开口，其形状对应欲形成的导线图案，其中该塑料薄膜掩模的材料包含热塑型塑料，该热塑型塑料于下述(b)、(c)、(d)及(e)步骤中不产生形变；(b)、固定该塑料薄膜掩模于该硅片上，使该塑料薄膜掩模上的该开口与该硅片欲形成导线图案的位置相对应；(c)、施予导线材料于该塑料薄膜掩模上，该导线材料通过该塑料薄膜掩模的该开口；(d)、固化该导线材料，使其于该塑料薄膜掩模的该开口所界定的空间内形成该导线图案；及(e)、分离该塑料薄膜掩模与该硅片。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈亮斌，
申请(专利权)人：茂迪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：