【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于物理参数的光学测量的设备本专利技术涉及光电设备领域。更具体而言，本专利技术涉及用于目标的位移的光学测量的测量设备。存在多种用于测量目标的位移、振动、距离等的设备，这使得可以执行所谓的非破坏性测量，即，该测量不会对被测量的目标造成破坏。经常使用光学方法，这是因为光学方法的优点在于不与目标接触并且是非侵入性的。它们基于从激光光源向目标发射光束，然后利用适当的检测和测量手段测量被目标返回的光束的光学属性的变化。迈克逊型干涉仪、光纤干涉仪和三角传感器是几种现有的光学设备。然而，这些类型的设备需要利用许多光学部件，这使得难以实现小型的、易于使用的且低成本的传感器。此外，这些设备中的一些设备的测量范围限于几厘米，甚至几毫米。 相比而言，基于光学反馈现象的(通常称作“自混合”)设备提出了一种小型、灵活的且低成本的实现系统。这些设备易于实现并仅需要例如一个激光光源，该激光光源向要被测量位移的目标发射测量光束。测量光束的一部分被目标反射，并被反馈到激光光源的激活腔(activecavity)，它在激光光源的激活腔中产生干涉。当来自激光光源并遇到目标的测量光束所行进的光路发生变化时...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.05.11 FR 10536481.一种用于物理参数的光学测量的测量设备(10)，其特征在于，所述测量设备包括 激光光源(11)，用于在目标(20)的方向上产生测量光束并用于接收被所述目标反射的测量光束，所述测量光束沿着随所要确定的物理参数而变化的光路行进，所述激光光源包括光学腔(111)； 针对所述激光光源(11)的运动传感器(14)； 计算装置(15)，用于根据在所述激光光源(11)处测量到的信号和所述运动传感器(14)测量到的信号来计算所述物理参数。2.根据权利要求I所述的测量设备，其中所述计算装置(15)包括第一转换装置(151)和第二转换装置(152)，所述第一转换装置(151)用于将在所述激光光源(11)处测量到的信号转换为所述光路中的总变化的测量值，而所述第二转换装置(152)用于将所述运动传感器(14)测量到的信号转换为所述激光光源的位移的测量值。3.根据前述任一项权利要求所述的测量设备，其中所述计算装置(15)包括用于相对于所述激光光源(11)来校准所述运动传感器(14 )的校准装置(153)。4.根据前述任一项权利要求所述的测量设备，其中所述运动传感器(14)是加速度计。5.根据权利要求2至4中任一项所述的测量设备，包括光电二极管(13)，所述光电二极管(13)位于所述激光光源(11)的输出端处，在所述第一转换装置(151)的上游。6.根据前述权利要求中任一项所述的测量设备，其中所述激光光源(11)是激光二极管。7.一种用于由根据权利要求I至6中任一项所述的所述光学测量设备测量物理参数的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤 通过所...
【专利技术属性】
技术研发人员：奥利维尔·伯纳尔，弗朗西斯·博尼，蒂埃里·博施，奥斯曼·扎比特，
申请(专利权)人：图卢兹国立综合理工学院，
类型：
国别省市：
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