一种实现薄膜厚度精确测量的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种实现薄膜厚度精确测量的装置，包括迈克尔逊干涉仪、图像传感器CCD、数据采集模块、硬件和驱动电路；迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且迈克尔逊干涉仪上设有点光源；CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且CCD与数据采集模块电性连接；数据采集模块设有计数器，计数器用于对干涉条纹进行计数，且计数器将计数结果输送至硬件；硬件与数据采集模块电性连接，且硬件内设有数据处理及输出模块，且数据处理及输出模块将硬件内的信息进行处理并输出；驱动电路与CCD电性连接。本实用新型专利技术具有快速、准确、无损伤和测量范围大等优点，可应用于工业生产的在线检测，在纳米技术的基础性研究中也有一定的应用价值。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学测量领域，特别是指一种实现薄膜厚度精确测量的装置。
技术介绍
机械测厚仪一般有点接触式和面接触式两类，采用最传统的测厚方法，数据稳定可靠，对试样没有选择性，但由于该测厚仪在进行厚度测量时会在样品表面施加一定的压力，对样品造成一定的损伤。机械测厚仪的核心元件，即测量头及测量面对于微小的振动都十分敏感，所以必须在实验室环境内使用。为了避免自身的振动，并尽可能地减少外界振动的影响，设备底座都采用重而宽的金属制成，这在一定程度上保证了测厚精度，却也给机械测厚仪的小型化和轻便化带来了很大的困难。市场上的机械测厚仪的测试精度参差不齐，一般可达到10 μ m左右。涡流测厚仪和磁性测厚仪一般都是小型便携式设备，分别利用了电涡流原理和电磁感应原理。专用于各种特定涂层厚度的测量，但用于测量薄膜、纸张的厚度时误差较大。超声波测厚仪也多是小型便携式设备，利用超声波反射原理，可测金属、塑料、陶瓷、玻璃以及其它任何超声波良导体的厚度。可在高温下工作，这是很多其他类型的测厚仪所不具备的，但对检测试样的种类具有选择性。
技术实现思路
本技术提出一种实现薄膜厚度精确测量的装置，解决了现有技术中测试精度不均匀、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实现薄膜厚度精确测量的装置，其特征在于，包括：迈克尔逊干涉仪，所述迈克尔逊干涉仪用于产生干涉条纹，且所述迈克尔逊干涉仪上设有产生光强的点光源；图像传感器CCD，所述CCD用于记录迈克尔逊干涉仪产生的干涉条纹，且所述CCD与所述数据采集模块电性连接；数据采集模块，所述数据采集模块设有计数器，所述计数器用于对所述干涉条纹进行计数，且所述计数器将计数结果输送至所述硬件；硬件，所述硬件与所述数据采集模块电性连接，且所述硬件内设有数据处理及输出模块，且所述数据处理及输出模块将所述硬件内的信息进行处理并输出；驱动电路，所述驱动电路与所述CCD电性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：熊建文，彭力，邓解关，李莉莉，
申请(专利权)人：华南师范大学，
类型：实用新型
国别省市：